(4) សម្ភារៈគោលដៅ។ សម្ភារៈគោលដៅគឺជាគន្លឹះនៃថ្នាំកូត sputtering ជាទូទៅដរាបណាសម្ភារៈគោលដៅបំពេញតាមតម្រូវការ ហើយការត្រួតពិនិត្យយ៉ាងតឹងរឹងនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការអាចត្រូវបានទាមទារដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងសម្ភារៈគោលដៅ និងអុកស៊ីដលើផ្ទៃ និងសារធាតុមិនបរិសុទ្ធផ្សេងទៀត គឺជាប្រភពសំខាន់នៃការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត ដូច្នេះដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ក្នុងការប្រឡាក់នីមួយៗគួរតែជាគោលដៅដំបូងសម្រាប់ការបាញ់ទឹកជាមុន ដើម្បីសម្អាតផ្ទៃគោលដៅ ដើម្បីលុបស្រទាប់អុកស៊ីតកម្មផ្ទៃគោលដៅ។
(5) ការខ្វះចន្លោះ។ កម្រិតនៃការបូមធូលីផ្ទៃខាងក្រោយឆ្លុះបញ្ចាំងដោយផ្ទាល់នូវបរិមាណឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ក្នុងប្រព័ន្ធ ហើយឧស្ម័នសំណល់ក៏ជាប្រភពសំខាន់នៃការចម្លងរោគនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ដូច្នេះការបូមធូលីផ្ទៃខាងក្រោយគួរតែត្រូវបានកែលម្អឱ្យបានច្រើនតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ ចំពោះការបំពុលនៃបញ្ហាមួយទៀតគឺការបូមបង្ហូរប្រេងត្រឡប់ទៅប្រេងវិញ ដែលបណ្តាលឱ្យមានសារធាតុកាបូននៅក្នុងភ្នាស តម្រូវការតឹងរ៉ឹងជាងនេះនៃភ្នាសគួរតែចាត់វិធានការសមស្រប ឬការប្រើប្រាស់ប្រព័ន្ធបូមធូលីខ្ពស់ដែលគ្មានជាតិប្រេង។
(6) សម្ពាធខ្យល់។ សម្ពាធខ្យល់ដែលដំណើរការដោយផ្ទាល់ប៉ះពាល់ដល់អត្រានៃការដាក់ភ្នាស។
លើសពីនេះទៀតដោយសារតែឧបករណ៍ sputtering ផ្សេងគ្នានៅក្នុងវាលអគ្គិសនីបរិយាកាសសម្ភារៈគោលដៅសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមនិងរចនាសម្ព័ន្ធធរណីមាត្រនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃអន្តរកម្មរវាងភ្នាសដើម្បីផលិតតម្រូវការចាំបាច់ដើម្បីធ្វើពិសោធន៍លើប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃដំណើរការដែលពីលក្ខខណ្ឌដំណើរការល្អបំផុត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ០៥ ខែមករា ឆ្នាំ២០២៤