គុណសម្បត្តិនៃគោលដៅស៊ីឡាំង

1) គោលដៅស៊ីឡាំងមានអត្រាប្រើប្រាស់ខ្ពស់ជាងគោលដៅផែនការ។ នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត មិនថាជាប្រភេទម៉ាញេទិច rotary ឬប្រភេទ rotary tube sputtering target នោះទេ ផ្នែកទាំងអស់នៃផ្ទៃនៃបំពង់គោលដៅបន្តឆ្លងកាត់តំបន់ sputtering ដែលបង្កើតនៅពីមុខមេដែកអចិន្ត្រៃយ៍ ដើម្បីទទួលបាន cathode sputtering ហើយគោលដៅអាចត្រូវបាន sputtered ស្មើភាពគ្នា ហើយអត្រាប្រើប្រាស់គោលដៅគឺខ្ពស់។ អត្រាប្រើប្រាស់សម្ភារៈគោលដៅគឺប្រហែល 80% ~ 90% ។

2) គោលដៅស៊ីឡាំងនឹងមិនងាយស្រួលក្នុងការផលិត "ការពុលគោលដៅ" ទេ។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូត ផ្ទៃនៃបំពង់គោលដៅតែងតែត្រូវបានប្រឡាក់ និងឆ្លាក់ដោយអ៊ីយ៉ុង ហើយវាមិនងាយស្រួលក្នុងការប្រមូលផ្តុំអុកស៊ីដក្រាស់ និងខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ផ្សេងទៀតនៅលើផ្ទៃនោះទេ ហើយវាមិនងាយស្រួលក្នុងការផលិត "ការពុលគោលដៅ" នោះទេ។

3) រចនាសម្ព័ន្ធនៃប្រភេទ rotary target tube cylindrical sputtering target គឺសាមញ្ញ និងងាយស្រួលក្នុងការតំឡើង។

4) សម្ភារៈបំពង់គោលដៅស៊ីឡាំងមានប្រភេទផ្សេងៗ។ គោលដៅ planar ជាមួយដែកគោលដៅដោយផ្ទាល់ ត្រជាក់ទឹក ហើយមួយចំនួនមិនអាចដំណើរការ និងបង្កើតគោលដៅស៊ីឡាំង ដូចជាគោលដៅ In2-SnO2 ជាដើម ជាមួយនឹងសម្ភារៈម្សៅសម្រាប់ការចុច isostatic ក្តៅ ដើម្បីទទួលបានគោលដៅដូចចាន ពីព្រោះទំហំមិនអាចធ្វើឱ្យធំ និងផុយបាន ដូច្នេះចាំបាច់ត្រូវប្រើវិធីសាស្រ្ត brazing និង copper backplate ដើម្បីដាក់បញ្ចូលលើមូលដ្ឋាន។ បន្ថែមពីលើបំពង់ដែក គោលដៅ columnar ក៏អាចត្រូវបានបាញ់ទៅលើផ្ទៃនៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកជាមួយនឹងសម្ភារៈផ្សេងៗដែលត្រូវការស្រោប ដូចជា Si, Cr ជាដើម។

នាពេលបច្ចុប្បន្នសមាមាត្រនៃគោលដៅស៊ីឡាំងសម្រាប់ថ្នាំកូតនៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្មកំពុងកើនឡើង។ គោលដៅស៊ីឡាំងមិនត្រឹមតែប្រើសម្រាប់ម៉ាស៊ីនស្រោបបញ្ឈរប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងប្រើក្នុងម៉ាស៊ីនស្រោបរមៀលផងដែរ។ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ គោលដៅភ្លោះនៃផែនការត្រូវបានជំនួសបន្តិចម្តងៗដោយគោលដៅភ្លោះរាងស៊ីឡាំង។

—— អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology, aក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក.