(4) Мақсатты материал. Мақсатты материал, жалпы алғанда, мақсатты материал талаптарға сәйкес келетін болса және пленка қабатын алу үшін процестің параметрлерін қатаң бақылау қажет болуы мүмкін болса, шашыратқыш жабынның кілті болып табылады. Мақсатты материалдағы және беттік оксидтердегі және басқа да қоспалардағы қоспалар қабықшаның ластануының маңызды көзі болып табылады, сондықтан жоғары тазалық қабатын алу үшін жоғары тазалықтағы мақсатты материалды пайдаланудан басқа, әрбір тозаңдату кезінде нысананың бетін тазарту, оксид қабатының нысаналы бетін жою үшін алдын ала шашыратудың бірінші нысанасы болуы керек.
(5) Фондық вакуум. Фондық вакуумның деңгейі жүйедегі қалдық газдың мөлшерін тікелей көрсетеді, ал қалдық газ да пленка қабатының ластануының маңызды көзі болып табылады, сондықтан фондық вакуумды мүмкіндігінше жақсарту керек. Тағы бір мәселе ластануы бойынша мұнай диффузиялық сорғы мұнайға кері қайтарылады, нәтижесінде мембранада көміртекті қоспалар пайда болады, мембрананың неғұрлым қатаң талаптары тиісті шараларды қабылдауы немесе майсыз жоғары вакуумды сорғы жүйесін пайдалану керек.
(6) шашатын ауа қысымы. Жұмыс ауасының қысымы мембрананың шөгу жылдамдығына тікелей әсер етеді.
Сонымен қатар, электр өрісінде, атмосферада, мақсатты материалда, субстрат температурасында және мембрана арасындағы өзара әрекеттесу параметрлерінің геометриялық құрылымына байланысты талаптарды өндіруге байланысты әр түрлі шашыратқыш құрылғылардың арқасында процестің параметрлері бойынша тәжірибелер жасау қажет, одан ең жақсы процесс шарттары.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 05 қаңтар 2024 ж