גורמים המשפיעים על היווצרות שכבה פרק 2

(4) חומר המטרה. חומר המטרה הוא המפתח לציפוי בהתזה, באופן כללי, כל עוד חומר המטרה עומד בדרישות, וייתכן שיידרש שליטה קפדנית על פרמטרי התהליך כדי לקבל את שכבת הסרט. זיהומים בחומר המטרה, תחמוצות פני השטח וחומרים לא טהורים אחרים הם מקור חשוב לזיהום הסרט, לכן על מנת לקבל שכבה טוהרת גבוהה, בנוסף לשימוש בחומר מטרה טוהר גבוה, בכל התזה יש לבצע התזה מוקדמת של המטרה על מנת לנקות את פני המטרה ולהסיר את שכבת התחמוצת מפני המטרה.

(5) ואקום רקע. רמת ואקום הרקע משקפת ישירות את כמות הגז השיורי במערכת, וגז שיורי הוא גם מקור חשוב לזיהום של שכבת הסרט, לכן יש לשפר את ואקום הרקע ככל האפשר. בעיה נוספת בנוגע לזיהום היא משאבת דיפוזיה של שמן בחזרה לשמן, וכתוצאה מכך סימום פחמן בממברנה. דרישות מחמירות יותר של הממברנה צריכות לנקוט באמצעים מתאימים או להשתמש במערכת שאיבה בוואקום גבוה ללא שמן.
(6) לחץ אוויר בהתזה. לחץ האוויר בעבודה משפיע ישירות על קצב ההפקדה של הממברנה.
בנוסף, עקב דרישות ייצור הפרמטרים השונים של התקני התזה בשדה החשמלי, באטמוספירה, בחומר המטרה, בטמפרטורת המצע ובמבנה הגיאומטרי של הממברנה, יש צורך לבצע ניסויים על פרמטרי התהליך, שמהם נוצרים תנאי התהליך הטובים ביותר.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה