1) למטרות גליליות יש שיעור ניצול גבוה יותר מאשר למטרות מישוריות. בתהליך הציפוי, בין אם מדובר במטרה גלילית מסוג מגנטי סיבובי או מסוג צינור סיבובי, כל חלקי פני השטח של צינור המטרה עוברים ברציפות דרך אזור ההתזה שנוצר מול המגנט הקבוע כדי לקבל התזה קתודית, והמטרה יכולה לעבור חריטה אחידה באמצעות התזה, ושיעור ניצול המטרה גבוה. שיעור הניצול של חומרי המטרה הוא כ-80%~90%.
2) מטרות גליליות לא ייצרו בקלות "הרעלת מטרה". במהלך תהליך הציפוי, פני השטח של צינור המטרה תמיד מתזה וחרוטים על ידי יונים, ולא קל להצטבר תחמוצות עבות ושכבות בידוד אחרות על פני השטח, ולא קל לייצר "הרעלת מטרה".
3) מבנה מטרת ההתזה הגלילית מסוג צינור מטרה סיבובי הוא פשוט וקל להתקנה.
4) חומר צינור המטרה הגלילי קיים במגוון סוגים. מטרה מישורית עם מטרה מתכתית מקוררת במים ישירה, וחלקן לא ניתנות לעיבוד וליצירת מטרות גליליות, כגון מטרת In2-SnO2 וכו', עם חומר אבקה לכבישה איזוסטטית חמה כדי לקבל מטרות דמויות לוח, מכיוון שהגודל לא יכול להיות גדול והן שבירות, לכן יש צורך להשתמש בשיטת הלחמה ולוח אחורי נחושת כדי לשלב ולאחר מכן להתקין אותן על בסיס המטרה. בנוסף לצינורות מתכת, ניתן גם לרסס מטרות עמודיות על פני צינורות נירוסטה עם חומרים שונים שיש לצפות, כגון Si, Cr וכו'.
כיום, שיעור המטרות הגליליות לציפוי בייצור התעשייתי הולך וגדל. מטרות גליליות משמשות לא רק במכונת ציפוי אנכית אלא גם במכונת ציפוי גליל-לגליל. בשנים האחרונות, מטרות כפולות מישוריות מוחלפות בהדרגה במטרות כפולות גליליות.
——מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה טכנולוגיה, חברהיצרן מכונות ציפוי אופטי.
זמן פרסום: 11 במאי 2023