(4) Markefni. Markefni er lykillinn að spúttunarhúðun, almennt séð, svo framarlega sem markefnið uppfyllir kröfur, og strangt eftirlit með ferlisbreytunum getur verið nauðsynlegt til að fá filmulag. Óhreinindi í markefninu og yfirborðsoxíð og önnur óhrein efni eru mikilvæg uppspretta mengunar á filmunni, þannig að til að fá mjög hreint lag, auk þess að nota mjög hreint markefni, ætti í hverri spúttunarmeðferð að forspútta fyrst til að hreinsa yfirborð markefnisins og fjarlægja oxíðlagið af markyfirborðinu.
(5) Bakgrunnslofttæmi. Magn bakgrunnslofttæmisins endurspeglar beint magn afgangsgass í kerfinu, og afgangsgas er einnig mikilvæg uppspretta mengunar í filmulaginu, þannig að bakgrunnslofttæmið ætti að bæta eins mikið og mögulegt er. Annað vandamál varðandi mengun er að olíudreifingardælan dælir aftur í olíuna, sem leiðir til kolefnisdópunar í himnunni. Því strangari kröfur sem gerðar eru til himnunnar ættu að vera gerðar viðeigandi ráðstafanir eða notaðar olíulausar hálofttæmisdælur.
(6) Loftþrýstingur við spúttingu. Loftþrýstingurinn sem vinnur hefur bein áhrif á útfellingarhraða himnunnar.
Að auki, vegna mismunandi víxlverkunarbreyta himnunnar í rafsviði, andrúmslofti, markefni, undirlagshita og rúmfræðilegri uppbyggingu spúttunarbúnaðarins, er nauðsynlegt að gera tilraunir á breytum ferlisins til að fá bestu ferlisskilyrðin.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 5. janúar 2024