(4) Ihe ezubere iche. Target ihe bụ isi ihe na sputtering mkpuchi, n'ozuzu, dị ka ogologo dị ka lekwasịrị ihe na-emezu ihe ndị a chọrọ, na nlezianya akara nke usoro parameters nwere ike chọrọ iji nweta ihe nkiri oyi akwa. Ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe ezubere iche na oxides elu na ihe ndị ọzọ na-adịghị ọcha bụ isi iyi dị mkpa nke mmetọ ihe nkiri, ya mere, iji nweta akwa oyi akwa dị ọcha, na mgbakwunye na iji ihe dị elu dị elu, na nke ọ bụla sputtering kwesịrị ịbụ ihe mbụ e lekwasịrị anya maka tupu sputtering iji hichaa elu nke ihe mgbaru ọsọ, iji wepụ ihe mgbaru ọsọ nke oyi akwa oxide.
(5) oghere ndabere. Ọkwa nke oghere oghere na-egosipụta ozugbo ọnụọgụ gas fọdụrụnụ na sistemụ ahụ, gas fọdụrụnụ bụkwa isi iyi dị mkpa nke mmetọ nke oyi akwa ihe nkiri, yabụ enwere ike imezi oghere ndabere dị ka o kwere mee. Na mmetọ nke nsogbu ọzọ bụ mgbapụta mgbapụta mmanụ na-alaghachi na mmanụ, na-ebute carbon doping na akpụkpọ ahụ, ihe ndị siri ike chọrọ nke akpụkpọ ahụ kwesịrị ime ihe kwesịrị ekwesị ma ọ bụ iji usoro mgbapụta elu na-enweghị mmanụ.
(6) ikuku ikuku na-efesa. Nrụgide ikuku na-arụ ọrụ na-emetụta ọnụ ọgụgụ ntinye nke akpụkpọ ahụ ozugbo.
Ke adianade do, n'ihi na dị iche iche sputtering ngwaọrụ na electric ubi, ikuku, lekwasịrị ihe onwunwe, substrate okpomọkụ na geometric Ọdịdị nke parameters nke mmekọrịta n'etiti akpụkpọ ahụ na-emepụta chọrọ, ọ dị mkpa ime nnwale na parameters nke usoro, site na nke kacha mma usoro ọnọdụ.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Jan-05-2024