(4) Նպատակային նյութ։ Նպատակային նյութը ծածկույթի ցողման բանալին է, ընդհանուր առմամբ, քանի դեռ նպատակային նյութը համապատասխանում է պահանջներին, և թաղանթային շերտ ստանալու համար կարող է պահանջվել գործընթացի պարամետրերի խիստ վերահսկողություն։ Նպատակային նյութի խառնուրդները, մակերեսային օքսիդները և այլ անմաքուր նյութերը թաղանթի աղտոտման կարևոր աղբյուր են, ուստի բարձր մաքրության շերտ ստանալու համար, բարձր մաքրության թիրախային նյութի օգտագործումից բացի, յուրաքանչյուր ցողման ժամանակ առաջին թիրախը պետք է նախնական ցողման ենթարկվի՝ թիրախի մակերեսը մաքրելու և թիրախի մակերեսը օքսիդային շերտից հեռացնելու համար։
(5) Ֆոնային վակուում։ Ֆոնային վակուումի մակարդակը ուղղակիորեն արտացոլում է համակարգում մնացորդային գազի քանակը, և մնացորդային գազը նույնպես թաղանթի շերտի աղտոտման կարևոր աղբյուր է, ուստի ֆոնային վակուումը պետք է հնարավորինս բարելավվի։ Աղտոտման մեկ այլ խնդիր է յուղի դիֆուզիոն պոմպի հետադարձ յուղային պոմպը, որի արդյունքում թաղանթում ածխածնի կուտակում է առաջանում, թաղանթի ավելի խիստ պահանջները պետք է համապատասխան միջոցներ ձեռնարկվեն կամ օգտագործվի յուղ չպարունակող բարձր վակուումային պոմպային համակարգ։
(6) փոշեցնող օդի ճնշում։ Աշխատանքային օդի ճնշումը անմիջականորեն ազդում է թաղանթի նստեցման արագության վրա։
Բացի այդ, էլեկտրական դաշտում, մթնոլորտում, թիրախային նյութում, ենթաշերտի ջերմաստիճանում և երկրաչափական կառուցվածքում տարբեր փոշեցնող սարքերի փոխազդեցության պարամետրերի պատճառով, որոնք համապատասխանում են թաղանթի պահանջներին, անհրաժեշտ է փորձարկումներ կատարել գործընթացի պարամետրերի վերաբերյալ, որոնցից լավագույն գործընթացային պայմանները կորոշվեն։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Հունվար-05-2024