(4) Célanyag. A célanyag általában véve kulcsfontosságú a porlasztásos bevonatoláshoz, amennyiben a célanyag megfelel a követelményeknek, és a filmréteg előállításához szigorú folyamatparaméter-ellenőrzésre lehet szükség. A célanyagban lévő szennyeződések, a felületi oxidok és egyéb szennyező anyagok a filmszennyeződés fontos forrásai, ezért a nagy tisztaságú réteg előállításához a nagy tisztaságú célanyag használata mellett minden porlasztásnál az első céltárgyat előporlasztásnak kell alávetni a célfelület tisztítása és az oxidréteg eltávolítása érdekében.
(5) Háttérvákuum. A háttérvákuum szintje közvetlenül tükrözi a rendszerben lévő maradék gáz mennyiségét, és a maradék gáz szintén fontos szennyeződési forrása a filmrétegnek, ezért a háttérvákuumot a lehető legnagyobb mértékben javítani kell. A szennyezés szempontjából egy másik probléma az olaj diffúziós szivattyújának visszajutása az olajba, ami szén-adalékolást eredményez a membránban. A szigorúbb membránkövetelményeknek megfelelő intézkedéseket kell tenniük, vagy olajmentes nagyvákuumú szivattyúrendszert kell használniuk.
(6) porlasztási levegő nyomása. Az üzemi levegő nyomása közvetlenül befolyásolja a membrán lerakódási sebességét.
Ezenkívül a különböző porlasztóberendezések elektromos mezőjében, a légkörben, a célanyagban, az aljzat hőmérsékletében és a membrán közötti kölcsönhatás paramétereinek geometriai szerkezetében bekövetkező különbségek miatt a követelményeknek megfelelően kísérleteket kell végezni a folyamat paramétereire vonatkozóan, amelyekből a legjobb folyamatfeltételek származnak.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. január 5.