1) A hengeres céltárgyak nagyobb kihasználtsági aránnyal rendelkeznek, mint a sík céltárgyak. A bevonási folyamat során, legyen szó forgómágneses vagy forgócsöves hengeres porlasztási céltárgyról, a céltárgycső felületének minden része folyamatosan áthalad az állandó mágnes előtt létrehozott porlasztási területen, hogy felfogja a katódporlasztást, így a céltárgy egyenletesen porlasztható, maratható, és a céltárgy kihasználtsági aránya magas. A céltárgyanyagok kihasználtsági aránya körülbelül 80% ~ 90%.
2) Hengeres céltárgyaknál nem könnyű „céltárgymérgezést” okozni. A bevonási folyamat során a céltárgycső felületét folyamatosan ionok porlasztják és marják, így nem könnyű vastag oxidokat és más szigetelőrétegeket képezni a felületen, és nem könnyű „céltárgymérgezést” előidézni.
3) A forgó célcső típusú hengeres porlasztási célpont szerkezete egyszerű és könnyen telepíthető.
4) A hengeres célcső anyagnak többféle típusa van. Sík céltárgy fém céltárgy közvetlen vízhűtéses, és néhány nem feldolgozható és hengeres céltárgyak, például In2-SnO2 céltárgy poranyaggal meleg izosztatikus préseléssel lemezszerű céltárgyak előállításához, mivel a méret nem nagy, és törékeny, ezért forrasztási módszert és réz hátlapot kell használni az integráláshoz és a céltárgy alapjára való felszereléshez. A fémcsövek mellett oszlopos céltárgyak is felvihetők rozsdamentes acélcsövek felületére különféle bevonandó anyagokkal, például Si-vel, Cr-ral stb.
Jelenleg a hengeres céltárgyak aránya az ipari termelésben egyre növekszik. A hengeres céltárgyakat nemcsak a függőleges bevonógépekhez, hanem a tekercses bevonógépekhez is használják. Az utóbbi években a sík ikercéltárgyakat fokozatosan felváltották a hengeres ikercéltárgyak.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, egy… tette közzéoptikai bevonó gépek gyártója.
Közzététel ideje: 2023. május 11.