(4) Materyèl sib la. Materyèl sib la se kle pou kouch pulverizasyon an. An jeneral, depi materyèl sib la satisfè egzijans yo, li ka nesesè pou kontwole paramèt pwosesis yo byen pou jwenn kouch fim nan. Enpurte ki nan materyèl sib la, oksid sifas yo ak lòt sibstans enpurte yo se yon sous enpòtan pou kontaminasyon fim nan. Pou jwenn yon kouch pite ki wo, anplis itilizasyon materyèl sib ki gen pite ki wo, chak pulverizasyon ta dwe premye sib la dwe pre-pulverize pou netwaye sifas sib la epi retire kouch oksid ki sou sifas sib la.
(5) Vakyòm an aryè plan. Nivo vakyòm an aryè plan an reflete dirèkteman kantite gaz rezidyèl ki nan sistèm nan, epi gaz rezidyèl la se yon sous enpòtan pou kontaminasyon kouch fim nan, kidonk yo ta dwe amelyore vakyòm an aryè plan an otank posib. Yon lòt pwoblèm polisyon se ponp difizyon lwil la ki retounen nan lwil la, sa ki lakòz dopan kabòn nan manbràn nan. Pou egzijans ki pi strik sou manbràn nan, yo ta dwe pran mezi apwopriye oswa itilize yon sistèm ponpe gwo vakyòm san lwil.
(6) presyon lè pou pulverizasyon. Presyon lè k ap travay la afekte dirèkteman vitès depo manbràn nan.
Anplis de sa, akòz diferan aparèy pulverizasyon nan chan elektrik la, atmosfè a, materyèl sib la, tanperati substrat la ak estrikti jewometrik paramèt entèraksyon ant manbràn lan pou pwodui egzijans yo, li nesesè pou fè eksperyans sou paramèt pwosesis la, ki soti nan pi bon kondisyon pwosesis yo.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 5 janvye 2024