1) Cilindrične mete imaju veću stopu iskorištenja od planarnih meta. U procesu nanošenja premaza, bilo da se radi o rotacijskoj magnetskoj ili rotacijskoj cilindričnoj meti za raspršivanje, svi dijelovi površine ciljne cijevi kontinuirano prolaze kroz područje raspršivanja stvoreno ispred permanentnog magneta kako bi primili katodno raspršivanje, te se meta može ravnomjerno raspršiti i nagrizati, a stopa iskorištenja mete je visoka. Stopa iskorištenja materijala mete je oko 80%~90%.
2) Cilindrične mete neće lako izazvati „trovanje mete“. Tijekom procesa premazivanja, površina ciljne cijevi je uvijek raspršena i nagrizena ionima, te nije lako nakupiti debele okside i druge izolacijske filmove na površini, te nije lako izazvati „trovanje mete“.
3) Struktura cilindrične mete za raspršivanje tipa rotirajuće cijevi je jednostavna i laka za ugradnju.
4) Materijal cilindrične mete je različitih vrsta. Planarna meta s metalnom metom koja se direktno hladi vodom, a neke se ne mogu obrađivati i formirati cilindrične mete, poput In2-SnO2 mete itd. s praškastim materijalom za vruće izostatsko prešanje kako bi se dobile mete u obliku ploča, jer se veličina ne može napraviti velika i krhka je, pa je potrebno koristiti metodu lemljenja i bakrenu stražnju ploču za integraciju, a zatim postavljanje na bazu mete. Osim metalnih cijevi, stupčaste mete mogu se također prskati na površinu cijevi od nehrđajućeg čelika s raznim materijalima koje je potrebno premazati, kao što su Si, Cr itd.
Trenutno se udio cilindričnih meta za premazivanje u industrijskoj proizvodnji povećava. Cilindrične mete se ne koriste samo za vertikalne strojeve za premazivanje, već se koriste i u strojevima za premazivanje s valjka na valac. Posljednjih godina, planarne dvostruke mete postupno se zamjenjuju cilindričnim dvostrukim metama.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač strojeva za optičke premaze.
Vrijeme objave: 11. svibnja 2023.