(4) Cov khoom siv. Cov khoom siv lub hom phiaj yog tus yuam sij rau sputtering txheej, feem ntau, tsuav yog cov khoom siv lub hom phiaj ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua, thiab kev tswj nruj ntawm cov txheej txheem tsis tuaj yeem xav tau kom tau txais cov txheej txheem zaj duab xis. Cov impurities nyob rau hauv lub hom phiaj cov ntaub ntawv thiab deg oxides thiab lwm yam impures yog ib qho tseem ceeb ntawm cov zaj duab xis kis kab mob, yog li thiaj li yuav tau ib tug siab purity txheej, ntxiv rau kev siv cov high purity lub hom phiaj, nyob rau hauv txhua txhua sputtering yuav tsum yog thawj lub hom phiaj rau pre-sputtering thiaj li yuav ntxuav lub nto ntawm lub hom phiaj, kom tshem tawm lub hom phiaj nto ntawm oxide txheej.
(5) Lub tshuab nqus tsev tom qab. Cov theem ntawm lub tshuab nqus tsev tom qab ncaj qha qhia txog cov roj seem hauv lub cev, thiab cov roj seem tseem ceeb kuj yog qhov tseem ceeb ntawm kev sib kis ntawm cov yeeb yaj kiab txheej, yog li lub tshuab nqus tsev tom qab yuav tsum tau txhim kho ntau li ntau tau. Ntawm cov pa phem ntawm lwm qhov teeb meem yog cov roj diffusion twj tso kua mis rov qab mus rau cov roj, uas ua rau cov pa roj carbon doping nyob rau hauv daim nyias nyias, qhov yuav tsum nruj dua ntawm daim nyias nyias yuav tsum tau siv cov kev ntsuas tsim nyog los yog siv cov roj-dawb lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis.
(6) sputtering cua siab. Kev ua haujlwm huab cua ncaj qha cuam tshuam rau qhov tso tawm ntawm daim nyias nyias.
Tsis tas li ntawd, vim muaj qhov sib txawv ntawm cov khoom siv hluav taws xob sib txawv hauv qhov hluav taws xob, huab cua, cov khoom siv lub hom phiaj, qhov kub thiab txias ntawm cov txheej txheem geometric ntawm qhov tsis sib xws ntawm daim nyias nyias los tsim cov kev xav tau, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau ua cov kev sim ntawm cov txheej txheem, los ntawm cov txheej txheem zoo tshaj plaws.
– Zaj lus no yog tso tawm los ntawmtshuab nqus tsev txheej tshuab manufacturersGuangdong Zhenhua
Post lub sij hawm: Jan-05-2024