1) बेलनाकार लक्ष्यों की उपयोग दर समतल लक्ष्यों की तुलना में अधिक होती है। कोटिंग प्रक्रिया में, चाहे वह रोटरी चुंबकीय प्रकार हो या रोटरी ट्यूब प्रकार बेलनाकार स्पटरिंग लक्ष्य, लक्ष्य ट्यूब की सतह के सभी भाग कैथोड स्पटरिंग प्राप्त करने के लिए स्थायी चुंबक के सामने उत्पन्न स्पटरिंग क्षेत्र से लगातार गुजरते हैं, और लक्ष्य को समान रूप से स्पटर किया जा सकता है, और लक्ष्य उपयोग दर अधिक होती है। लक्ष्य सामग्री की उपयोग दर लगभग 80% ~ 90% है।
2) बेलनाकार लक्ष्य "लक्ष्य विषाक्तता" का उत्पादन करना आसान नहीं होगा। कोटिंग प्रक्रिया के दौरान, लक्ष्य ट्यूब की सतह हमेशा आयनों द्वारा छिड़की और खोदी जाती है, और सतह पर मोटी ऑक्साइड और अन्य इन्सुलेट फिल्मों को जमा करना आसान नहीं होता है, और "लक्ष्य विषाक्तता" का उत्पादन करना आसान नहीं होता है।
3) रोटरी लक्ष्य ट्यूब प्रकार बेलनाकार स्पटरिंग लक्ष्य की संरचना सरल और स्थापित करने में आसान है।
4) बेलनाकार लक्ष्य ट्यूब सामग्री के विभिन्न प्रकार हैं। धातु लक्ष्य के साथ समतल लक्ष्य प्रत्यक्ष जल शीतलन, और कुछ को संसाधित नहीं किया जा सकता है और बेलनाकार लक्ष्य बनाया जा सकता है, जैसे कि In2-SnO2 लक्ष्य, आदि गर्म आइसोस्टैटिक दबाने के लिए पाउडर सामग्री के साथ प्लेट जैसे लक्ष्य प्राप्त करने के लिए, क्योंकि आकार बड़ा नहीं बनाया जा सकता है, और भंगुर है, इसलिए लक्ष्य आधार पर एकीकृत करने और फिर स्थापित करने के लिए ब्रेज़िंग विधि और तांबे की बैकप्लेट का उपयोग करना आवश्यक है। धातु पाइप के अलावा, स्तंभ लक्ष्य को विभिन्न सामग्रियों के साथ स्टेनलेस स्टील पाइप की सतह पर भी छिड़का जा सकता है जिन्हें लेपित करने की आवश्यकता होती है, जैसे कि Si, Cr, आदि।
वर्तमान में, औद्योगिक उत्पादन में कोटिंग के लिए बेलनाकार लक्ष्यों का अनुपात बढ़ रहा है। बेलनाकार लक्ष्य न केवल ऊर्ध्वाधर कोटिंग मशीन के लिए उपयोग किए जाते हैं, बल्कि रोल टू रोल कोटिंग मशीन में भी उपयोग किए जाते हैं। हाल के वर्षों में, प्लानर ट्विन लक्ष्यों को धीरे-धीरे बेलनाकार ट्विन लक्ष्यों द्वारा प्रतिस्थापित किया जा रहा है।
——यह लेख गुआंग्डोंग झेनहुआ टेक्नोलॉजी द्वारा जारी किया गया था,ऑप्टिकल कोटिंग मशीनों के निर्माता.
पोस्ट करने का समय: मई-11-2023