Nā mea e pili ana i ka hoʻokumu ʻana i ke kiʻiʻoniʻoni Mokuna 2

(4) Mea hoʻolālā. ʻO ka mea i manaʻo ʻia ke kī i ka sputtering coating, ma ke ʻano holoʻokoʻa, ʻoiai ka mea i hoʻopaʻa ʻia e hoʻokō i nā koi, a hiki ke koi ʻia ka mana koʻikoʻi o nā kaʻina hana no ka loaʻa ʻana o ka papa kiʻiʻoniʻoni. ʻO nā mea haumia i loko o ka mea i hoʻopaʻa ʻia a me ka ʻili o ka ʻili a me nā mea haumia ʻē aʻe he kumu nui o ka hoʻohaumia ʻana i ke kiʻiʻoniʻoni, no laila i mea e loaʻa ai kahi papa maʻemaʻe kiʻekiʻe, me ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻomaʻemaʻe maʻemaʻe kiʻekiʻe, i kēlā me kēia sputtering e lilo i ka pahuhopu mua no ka pre-sputtering i mea e hoʻomaʻemaʻe ai i ka ʻili o ka pahu, e wehe i ka ʻili o ka pae o ka oxide.

(5) Māmā i hope. Hōʻike pololei ke kiʻekiʻe o ke kinoea hope i ka nui o ke kinoea koena i loko o ka ʻōnaehana, a ʻo ke koena kinoea kekahi kumu koʻikoʻi o ka hoʻohaumia ʻana i ka papa kiʻiʻoniʻoni, no laila pono e hoʻomaikaʻi ʻia ka ʻōpala hope e like me ka hiki. Ma ka pollution o kekahi pilikia ka aila diffusion pump hoʻi i ka aila, ka hopena i ka carbon doping i loko o ka membrane, ʻoi aku ka ikaika o nā koi o ka membrane e lawe i nā mea kūpono a i ʻole ka hoʻohana ʻana i ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe kiʻekiʻe.
(6) sputtering kaomi ea. Hoʻopili pololei ke kaomi ea hana i ka helu deposition o ka membrane.
Eia kekahi, ma muli o nā ʻano sputtering ʻokoʻa i loko o ke kahua uila, ka lewa, ka mea i hoʻopaʻa ʻia, ka mahana substrate a me ka hoʻolālā geometric o nā ʻāpana o ka pilina ma waena o ka membrane e hana i nā koi, pono ia e hana i nā hoʻokolohua ma nā ʻāpana o ke kaʻina hana, mai kahi o nā kūlana kaʻina maikaʻi loa.

-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻaGuangdong Zhenhua