(4) લક્ષ્ય સામગ્રી. લક્ષ્ય સામગ્રી સ્પટરિંગ કોટિંગની ચાવી છે, સામાન્ય રીતે, જ્યાં સુધી લક્ષ્ય સામગ્રી જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે, અને ફિલ્મ સ્તર મેળવવા માટે પ્રક્રિયા પરિમાણોનું કડક નિયંત્રણ જરૂરી હોઈ શકે છે. લક્ષ્ય સામગ્રી અને સપાટી ઓક્સાઇડ અને અન્ય અશુદ્ધ પદાર્થોમાં અશુદ્ધિઓ ફિલ્મ દૂષણનો મહત્વપૂર્ણ સ્ત્રોત છે, તેથી ઉચ્ચ શુદ્ધતા સ્તર મેળવવા માટે, ઉચ્ચ શુદ્ધતા લક્ષ્ય સામગ્રીના ઉપયોગ ઉપરાંત, દરેક સ્પટરિંગમાં લક્ષ્યની સપાટીને સાફ કરવા માટે પૂર્વ-સ્પટરિંગ માટેનું પ્રથમ લક્ષ્ય હોવું જોઈએ, ઓક્સાઇડ સ્તરની લક્ષ્ય સપાટીને દૂર કરવા માટે.
(5) પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશ. પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશનું સ્તર સિસ્ટમમાં શેષ ગેસના જથ્થાને સીધું પ્રતિબિંબિત કરે છે, અને શેષ ગેસ પણ ફિલ્મ સ્તરના દૂષણનો એક મહત્વપૂર્ણ સ્ત્રોત છે, તેથી પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશને શક્ય તેટલું સુધારવું જોઈએ. બીજી સમસ્યાના પ્રદૂષણ પર તેલ પ્રસાર પંપ તેલમાં પાછા ફરે છે, જેના પરિણામે પટલમાં કાર્બન ડોપિંગ થાય છે, પટલની વધુ કડક જરૂરિયાતો યોગ્ય પગલાં લેવા જોઈએ અથવા તેલ-મુક્ત ઉચ્ચ-વેક્યુમ પમ્પિંગ સિસ્ટમનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.
(6) સ્પુટરિંગ હવાનું દબાણ. કાર્યકારી હવાનું દબાણ પટલના ડિપોઝિશન દરને સીધી અસર કરે છે.
વધુમાં, વિદ્યુત ક્ષેત્ર, વાતાવરણ, લક્ષ્ય સામગ્રી, સબસ્ટ્રેટ તાપમાન અને ભૌમિતિક માળખામાં વિવિધ સ્પટરિંગ ઉપકરણોને કારણે, જરૂરિયાતો ઉત્પન્ન કરવા માટે પટલ વચ્ચેની ક્રિયાપ્રતિક્રિયાના પરિમાણો, પ્રક્રિયાના પરિમાણો પર પ્રયોગો કરવા જરૂરી છે, જેમાંથી શ્રેષ્ઠ પ્રક્રિયા સ્થિતિઓ.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-05-2024