(4) Stuth targaid. ’S e an stuth targaid an iuchair airson còmhdach sputtering, san fharsaingeachd, fhad ’s a choinnicheas an stuth targaid ris na riatanasan, agus dh’fhaodadh gum bi feum air smachd teann air paramadairean a’ phròiseis gus an còmhdach film fhaighinn. Tha neo-chunbhalachdan anns an stuth targaid agus ocsaidean uachdar agus stuthan neo-ghlan eile nan stòr cudromach de thruailleadh film, agus mar sin gus còmhdach àrd-ghlanachd fhaighinn, a bharrachd air a bhith a’ cleachdadh stuth targaid àrd-ghlanachd, bu chòir a’ chiad targaid a bhith air a ro-sputtering anns gach sputtering gus uachdar an targaid a ghlanadh, gus an còmhdach ocsaid a thoirt air falbh bhon uachdar targaid.
(5) Falamh cùl-fhiosrachaidh. Tha ìre a’ ghlais chùl-fhiosrachaidh a’ nochdadh gu dìreach na tha de ghas a tha air fhàgail san t-siostam, agus tha gas a tha air fhàgail cuideachd na thùs cudromach de thruailleadh an t-sreath film, agus mar sin bu chòir am falamh cùl-fhiosrachaidh a leasachadh cho mòr ‘s as urrainn. A thaobh truailleadh, is e duilgheadas eile a th’ ann am pumpa sgaoilidh na h-ola air ais chun na h-ola, agus mar thoradh air sin bidh dopadh carbon anns a’ membran, agus bu chòir riatanasan nas teinne a bhith aig a’ membran gus ceumannan iomchaidh a ghabhail no siostam pumpaidh àrd-falamh gun ola a chleachdadh.
(6) cuideam èadhair spùtadh. Bidh cuideam èadhair obrach a’ toirt buaidh dhìreach air ìre tasgadh na membran.
A bharrachd air an sin, air sgàth nan diofar innealan sputtering anns an raon dealain, an àile, an stuth targaid, teòthachd an t-substrate agus structar geoimeatrach paramadairean an eadar-obrachaidh eadar an membran gus na riatanasan a thoirt gu buil, tha e riatanach deuchainnean a dhèanamh air paramadairean a’ phròiseis, às an tèid na suidheachaidhean pròiseis as fheàrr fhaighinn.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 5 Faoilleach 2024