1) Tha ìre cleachdaidh nas àirde aig targaidean siolandair na targaidean planar. Anns a’ phròiseas còtaidh, ge bith an e targaid sputtering siolandair de sheòrsa rothlach magnetach no de sheòrsa tiùb rothlach a th’ ann, bidh a h-uile pàirt de uachdar an tiùba targaid a’ dol tron raon sputtering a thèid a chruthachadh air beulaibh a’ mhagnait maireannach gus sputtering catod fhaighinn, agus faodar an targaid a sputteradh agus a ghràbhaladh gu cothromach, agus tha an ìre cleachdaidh targaid àrd. Tha an ìre cleachdaidh de stuthan targaid mu 80% ~ 90%.
2) Cha bhith e furasta “puinnseanachadh targaid” a chruthachadh le targaidean siolandair. Rè a’ phròiseis chòtaidh, bidh uachdar an tiùba targaid an-còmhnaidh air a spùtadh agus air a ghràbhaladh le ianan, agus chan eil e furasta ocsaidean tiugh agus filmichean inslithe eile a chruinneachadh air an uachdar, agus chan eil e furasta “puinnseanachadh targaid” a chruthachadh.
3) Tha structar an targaid sputtering siolandair seòrsa tiùb targaid rothlach sìmplidh agus furasta a stàladh.
4) Tha diofar sheòrsaichean stuth tiùb targaid siolandair ann. targaid rèidh le targaid meatailt le fuarachadh uisge dìreach, agus chan urrainnear cuid a phròiseasadh agus targaidean siolandair a chruthachadh, leithid targaid In2-SnO2, msaa. le stuth pùdar airson brùthadh isostatach teth gus targaidean coltach ri truinnsear fhaighinn, leis nach urrainnear am meud a dhèanamh mòr, agus brisg, agus mar sin feumar dòigh bràisidh agus truinnsear cùil copair a chleachdadh gus amalachadh agus an uairsin a stàladh air bonn an targaid. A bharrachd air pìoban meatailt, faodar targaidean colbhach a spìonadh air uachdar phìoban stàilinn gun staoin le diofar stuthan a dh’ fheumar a chòmhdach, leithid Si, Cr, msaa.
An-dràsta, tha an co-roinn de thargaidean siolandair airson còmhdach ann an cinneasachadh gnìomhachais a’ dol am meud. Chan ann a-mhàin airson an inneal còmhdach dìreach a thathas a’ cleachdadh targaidean siolandair ach cuideachd ann an inneal còmhdach rolla gu rolla a thathas a’ cleachdadh. Anns na bliadhnachan mu dheireadh, tha na targaidean càraid planar air an cur an àite mean air mhean le targaidean càraid siolandair.
——Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Àm puist: 11 Cèitean 2023