1) Tá ráta úsáide níos airde ag spriocanna sorcóireacha ná spriocanna plánacha. Sa phróiseas sciath, bíodh sé ina sprioc spútarála sorcóireach de chineál rothlach maighnéadach nó de chineál feadáin rothlaigh, téann gach cuid de dhromchla an fheadáin sprice tríd an limistéar spútarála a ghintear os comhair an mhaighnéid bhuain go leanúnach chun spútaráil catóide a fháil, agus is féidir an sprioc a spútaráil agus a ghreantáil go haonfhoirmeach, agus tá an ráta úsáide sprice ard. Tá ráta úsáide na n-ábhar sprice thart ar 80% ~ 90%.
2) Ní bheidh sé éasca “nimhiú sprice” a chruthú le spriocanna sorcóireacha. Le linn an phróisis sciath, bíonn dromchla an fheadáin sprice spúite agus greanta i gcónaí ag iain, agus ní bhíonn sé éasca ocsaídí tiubha agus scannáin inslithe eile a charnadh ar an dromchla, agus ní bhíonn sé éasca “nimhiú sprice” a chruthú.
3) Tá struchtúr an sprice spútartha sorcóireach de chineál feadán sprice rothlach simplí agus éasca le suiteáil.
4) Tá cineálacha éagsúla ábhar feadán sprice sorcóireach ann. Sprioc phlánach le sprioc miotail fuaraithe go díreach le huisce, agus ní féidir cuid acu a phróiseáil agus spriocanna sorcóireacha a mhúnlú, amhail sprioc In2-SnO2, etc. le hábhar púdair le haghaidh brú te isostatach chun spriocanna pláta-chruthacha a fháil, toisc nach féidir an méid a dhéanamh mór, agus tá sé sobhriste, mar sin is gá modh táthú agus pláta cúil copair a úsáid chun é a chomhtháthú agus ansin a shuiteáil ar bhonn na sprice. Chomh maith le píopaí miotail, is féidir spriocanna colúnacha a spraeáil ar dhromchla píopaí cruach dhosmálta le hábhair éagsúla a gcaithfear a sciathú, amhail Si, Cr, etc.
Faoi láthair, tá méadú ag teacht ar an gcion de spriocanna sorcóireacha le haghaidh sciath i dtáirgeadh tionsclaíoch. Ní hamháin go n-úsáidtear spriocanna sorcóireacha don mheaisín sciath ingearach ach úsáidtear iad sa mheaisín sciath rolla go rolla freisin. Le blianta beaga anuas, tá na spriocanna cúpla sorcóireacha á n-ionadú de réir a chéile ag na spriocanna cúpla plánacha.
——Foilsíodh an t-alt seo ag Guangdong Zhenhua Technology, amonaróir meaisíní sciath optúla.
Am an phoist: 11 Bealtaine 2023

