(4) Doelmateriaal. Doelmateriaal is de kaai foar sputtercoating, yn 't algemien, salang't it doelmateriaal oan 'e easken foldocht, en strange kontrôle fan 'e prosesparameters kin fereaske wêze om de filmlaach te krijen. Unreinheden yn it doelmateriaal en oerflakoksiden en oare ûnreine stoffen binne in wichtige boarne fan filmfersmoarging, dus om in laach mei hege suverens te krijen, neist it brûken fan doelmateriaal mei hege suverens, moat by elke sputtering it earste doel foar pre-sputtering wêze om it oerflak fan it doel skjin te meitsjen, om de oksidelaach fan it doeloerflak te ferwiderjen.
(5) Eftergrûnfakuüm. It nivo fan it eftergrûnfakuüm reflektearret direkt de hoemannichte oerbleaune gas yn it systeem, en oerbleaune gas is ek in wichtige boarne fan fersmoarging fan 'e filmlaach, dus it eftergrûnfakuüm moat safolle mooglik ferbettere wurde. In oar probleem mei fersmoarging is de oaljediffúzjepomp dy't werom nei de oalje giet, wat resulteart yn koalstofdoping yn it membraan. Om't strangere easken foar it membraan steld wurde, moatte passende maatregels nommen wurde of in oaljefrij heechfakuümpompsysteem brûkt wurde.
(6) sputterluchtdruk. De wurkluchtdruk beynfloedet direkt de ôfsettingssnelheid fan it membraan.
Derneist, fanwegen de ferskillende sputterapparaten yn it elektryske fjild, sfear, doelmateriaal, substraattemperatuer en geometryske struktuer fan 'e parameters fan' e ynteraksje tusken it membraan om de easken te produsearjen, is it nedich om eksperiminten te dwaan op 'e parameters fan it proses, wêrfan de bêste prosesbetingsten.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: Jan-05-2024