1) Les cibles cylindriques présentent un taux d'utilisation plus élevé que les cibles planes. Lors du revêtement, qu'il s'agisse d'une cible de pulvérisation cylindrique de type magnétique rotatif ou de type tube rotatif, toutes les parties de la surface du tube cible traversent en continu la zone de pulvérisation générée devant l'aimant permanent pour recevoir la pulvérisation cathodique. La cible peut ainsi être gravée uniformément par pulvérisation cathodique, ce qui permet un taux d'utilisation élevé. Le taux d'utilisation des matériaux cibles est d'environ 80 à 90 %.
2) Les cibles cylindriques ne sont pas facilement sujettes à l'empoisonnement de la cible. Lors du revêtement, la surface du tube cible est constamment pulvérisée et gravée par des ions, ce qui limite l'accumulation d'oxydes épais et autres films isolants, et donc la formation d'un empoisonnement de la cible.
3) La structure de la cible de pulvérisation cylindrique de type tube cible rotatif est simple et facile à installer.
4) Il existe différents types de matériaux pour les cibles cylindriques. Les cibles planes et métalliques sont refroidies directement par eau. Certaines cibles cylindriques, comme les cibles In2-SnO2, ne peuvent pas être usinées et formées. L'utilisation de poudre pour pressage isostatique à chaud permet d'obtenir des cibles en forme de plaque. En raison de leur faible taille et de leur fragilité, il est nécessaire d'utiliser un brasage et une plaque arrière en cuivre pour l'intégration et l'installation sur la base de la cible. Outre les tubes métalliques, les cibles colonnaires peuvent également être pulvérisées sur la surface des tubes en acier inoxydable avec divers matériaux à revêtir, tels que le silicium et le chrome.
Actuellement, la part des cibles cylindriques utilisées pour le revêtement dans la production industrielle est en augmentation. Elles sont utilisées non seulement pour les machines de revêtement verticales, mais aussi pour les machines de revêtement rouleau à rouleau. Ces dernières années, les cibles jumelles planes ont progressivement été remplacées par des cibles jumelles cylindriques.
——Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, unefabricant de machines de revêtement optique.
Date de publication : 11 mai 2023