1) Sylinterimäisten kohteiden käyttöaste on korkeampi kuin tasomaisten kohteiden. Pinnoitusprosessissa, olipa kyseessä pyörivä magneettinen tai pyörivä putkityyppinen sylinterimäinen sputterointikohde, kaikki kohdeputken pinnan osat kulkevat jatkuvasti kestomagneetin edessä olevan sputterointialueen läpi katodin sputteroinnin vastaanottamiseksi, jolloin kohde voidaan sputteroida ja syövyttää tasaisesti, ja kohteen käyttöaste on korkea. Kohdemateriaalien käyttöaste on noin 80–90 %.
2) Sylinterimäisten maalien "kohteen myrkytyksen" syntyminen on vaikeaa. Pinnoitusprosessin aikana ionit sputteroivat ja syövyttävät kohdeputken pintaa, joten paksujen oksidien ja muiden eristävien kalvojen kertyminen pinnalle ei ole helppoa, eikä "kohteen myrkytyksen" syntyminen ole helppoa.
3) Pyörivän kohdeputken tyyppisen sylinterimäisen sputterointikohteen rakenne on yksinkertainen ja helppo asentaa.
4) Sylinterimäisiä kohdeputkimateriaaleja on useita. Tasomaisia kohteita voidaan käyttää metallikohteessa, jossa on suora vesijäähdytys, ja joitakin ei voida käsitellä ja muotoilla sylinterimäisiksi kohteiksi, kuten In2-SnO2-kohteiksi, joissa jauhemateriaalia käytetään kuumaisostaattiseen puristukseen levymäisten kohteiden saamiseksi, koska niiden kokoa ei voida suurentaa ja ne ovat hauraita. Siksi on käytettävä juotosmenetelmää ja kuparilevyä integrointiin ja asentamiseen kohdealustaan. Metalliputkien lisäksi pylväsmäisiä kohteita voidaan ruiskuttaa ruostumattomasta teräksestä valmistettujen putkien pinnalle erilaisilla pinnoitettavilla materiaaleilla, kuten piillä, kromilla jne.
Tällä hetkellä sylinterimäisten pinnoitusmaalien osuus teollisessa tuotannossa on kasvussa. Sylinterimäisiä pinnoitusmaaleja käytetään paitsi pystysuuntaisissa pinnoituskoneissa, myös rullalta rullalle -pinnoituskoneissa. Viime vuosina tasomaiset kaksoismaalit ovat vähitellen korvautuneet sylinterimäisillä kaksoismaaleilla.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Julkaisun aika: 11.5.2023