۱) اهداف استوانهای میزان استفاده بالاتری نسبت به اهداف مسطح دارند. در فرآیند پوششدهی، چه از نوع مغناطیسی چرخشی باشد و چه از نوع لولهای چرخشی، تمام قسمتهای سطح لوله هدف به طور مداوم از ناحیه پاشش ایجاد شده در مقابل آهنربای دائمی عبور میکنند تا پاشش کاتدی را دریافت کنند و هدف میتواند به طور یکنواخت حکاکی شود و میزان استفاده از هدف بالا است. میزان استفاده از مواد هدف حدود ۸۰٪ تا ۹۰٪ است.
۲) اهداف استوانهای به راحتی "مسمومیت هدف" ایجاد نمیکنند. در طول فرآیند پوشش، سطح لوله هدف همیشه توسط یونها پراکنده و حکاکی میشود و تجمع اکسیدهای ضخیم و سایر لایههای عایق روی سطح آسان نیست و ایجاد "مسمومیت هدف" آسان نیست.
۳) ساختار هدف پاشش استوانهای از نوع لوله هدف چرخشی، ساده و نصب آن آسان است.
۴) جنس لوله هدف استوانهای انواع مختلفی دارد. هدف مسطح با هدف فلزی که مستقیماً با آب خنک میشود، و برخی از آنها را نمیتوان پردازش کرد و اهداف استوانهای تشکیل داد، مانند هدف In2-SnO2 و غیره. با مواد پودری برای پرس ایزواستاتیک گرم برای به دست آوردن اهداف صفحهای شکل، زیرا اندازه را نمیتوان بزرگ و شکننده کرد، بنابراین لازم است از روش لحیم کاری و صفحه پشتی مسی برای ادغام و سپس نصب روی پایه هدف استفاده شود. علاوه بر لولههای فلزی، اهداف ستونی را میتوان روی سطح لولههای فولادی ضد زنگ با مواد مختلفی که نیاز به پوشش دارند، مانند Si، Cr و غیره، اسپری کرد.
در حال حاضر، نسبت تارگتهای استوانهای برای پوششدهی در تولید صنعتی رو به افزایش است. تارگتهای استوانهای نه تنها برای دستگاه پوششدهی عمودی، بلکه در دستگاه پوششدهی رول به رول نیز استفاده میشوند. در سالهای اخیر، تارگتهای دوقلوی مسطح به تدریج جای خود را به تارگتهای دوقلوی استوانهای دادهاند.
——این مقاله توسط شرکت فناوری گوانگدونگ ژنهوا منتشر شده است.سازنده دستگاه های پوشش دهی نوری.
زمان ارسال: ۱۱ مه ۲۰۲۳