1) Helburu zilindrikoek erabilera-tasa handiagoa dute helburu planarrek baino. Estaldura-prozesuan, sputtering-helburu magnetiko birakariak edo hodi birakari motako zilindriko-hodi birakariak izan, helburu-hodiaren gainazaleko zati guztiak etengabe igarotzen dira iman iraunkorraren aurrean sortutako sputtering-eremutik katodoaren sputtering-a jasotzeko, eta helburua uniformeki sputterizatu daiteke, eta helburuaren erabilera-tasa altua da. Helburu-materialen erabilera-tasa % 80~% 90 ingurukoa da.
2) Helburu zilindrikoek ez dute erraz "helburuaren intoxikazioa" sortuko. Estaldura-prozesuan, helburu-hodiaren gainazala beti ihinztatu eta grabatzen da ioiekin, eta ez da erraza oxido lodiak eta bestelako film isolatzaileak gainazalean metatzea, eta ez da erraza "helburuaren intoxikazioa" sortzea.
3) Biraketa-helburuko hodi motako sputtering zilindriko helburuaren egitura sinplea eta erraz instalatzen da.
4) Hodi zilindrikoen materialak hainbat mota ditu. Helburu planarrak metalezko helburuarekin zuzenean ur bidez hozten dira, eta batzuk ezin dira prozesatu eta helburu zilindrikoak eratu, hala nola In2-SnO2 helburuak, etab. hauts materialarekin bero isostatikoki prentsatzeko plaka itxurako helburuak lortzeko, tamaina ezin baita handia eta hauskorra izan, beraz, soldadura metodoa eta kobrezko atzeko plaka erabili behar dira integratzeko eta gero helburuaren oinarrian instalatzeko. Metalezko hodiez gain, zutabe formako helburuak altzairu herdoilgaitzezko hodien gainazalean ere ihinztatu daitezke estali behar diren hainbat materialekin, hala nola Si, Cr, etab.
Gaur egun, industria-ekoizpenean estaldurarako zilindriko formako jomugen proportzioa handitzen ari da. Zilindriko formako jomugak ez dira soilik estaldura-makina bertikalean erabiltzen, baita erroilutik erroilurako estaldura-makinan ere. Azken urteotan, biki planarrak pixkanaka ordezkatu dituzte zilindriko biki jomugekin.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k argitaratu du,estaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitaratze data: 2023ko maiatzaren 11a