1) Silindriliste sihtmärkide kasutusmäär on kõrgem kui tasapinnaliste sihtmärkide kasutusmäär. Katmisprotsessis, olenemata sellest, kas tegemist on pöörleva magnetiga või pöörleva toruga silindrilise pihustussihtmärgiga, läbivad kõik sihtmärgi toru pinna osad pidevalt püsimagneti ees tekkivat pihustusala, et vastu võtta katoodpihustamine, nii et sihtmärki saab ühtlaselt pihustada, söövitada ja sihtmärgi kasutusmäär on kõrge. Sihtmärgi materjalide kasutusmäär on umbes 80–90%.
2) Silindriliste märklaudade puhul on „märklaua mürgitust“ raske tekitada. Kattekihi pealekandmise ajal on märklaua toru pind pidevalt ioonidega pritsitud ja söövitatud, mistõttu pinnale ei teki kergesti pakse oksiide ega muid isoleerivaid kilesid ning „märklaua mürgitust“ ei ole kerge tekitada.
3) Pöörleva sihtmärgi toru tüüpi silindrilise pihustussihtmärgi struktuur on lihtne ja hõlpsasti paigaldatav.
4) Silindrilise sihtmärgi toru materjali on erinevat tüüpi. Tasapinnaline sihtmärk koos metallsihtmärgiga, mis on jahutatud veega, ja mõnda ei saa töödelda ega vormida silindrilisi sihtmärke, näiteks In2-SnO2 sihtmärki jne. Pulbermaterjalist kuuma isostaatilise pressimise abil plaaditaoliste sihtmärkide saamiseks, kuna neid ei saa suureks muuta ja need on rabedad, seega on vaja kasutada kõvajoodismeetodit ja vaskplaati, et integreerida ja seejärel sihtmärgi alusele paigaldada. Lisaks metalltorudele saab sambakujulisi sihtmärke roostevabast terasest torude pinnale pihustada ka erinevate katmist vajavate materjalidega, näiteks Si, Cr jne.
Praegu on silindriliste katmismärkide osakaal tööstuslikus tootmises suurenemas. Silindrilisi katmismärke kasutatakse lisaks vertikaalsele katmismasinale ka rull-rull katmismasinas. Viimastel aastatel on tasapinnalised kaksik-katalüütilised katmismärgid järk-järgult asendatud silindriliste kaksik-katalüütiliste katalüütidega.
—— Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, ettevõteoptiliste katmismasinate tootja.
Postituse aeg: 11. mai 2023