1) Los objetivos cilíndricos tienen una mayor tasa de utilización que los objetivos planos. Durante el proceso de recubrimiento, ya sea un objetivo de pulverización catódica cilíndrica de tipo magnético rotatorio o de tubo rotatorio, toda la superficie del tubo del objetivo pasa continuamente por el área de pulverización generada frente al imán permanente para recibir la pulverización catódica. El objetivo se puede grabar uniformemente por pulverización catódica, con una alta tasa de utilización. La tasa de utilización de los materiales del objetivo es de aproximadamente el 80% al 90%.
2) Los objetivos cilíndricos no son propensos a sufrir envenenamiento. Durante el proceso de recubrimiento, la superficie del tubo objetivo sufre constantemente una pulverización catódica y un grabado iónico, lo que dificulta la acumulación de óxidos gruesos y otras películas aislantes en la superficie, lo que dificulta el envenenamiento.
3) La estructura del objetivo de pulverización catódica cilíndrica tipo tubo de objetivo giratorio es simple y fácil de instalar.
4) El material del tubo de objetivo cilíndrico es de varios tipos. El objetivo plano se fabrica con objetivo metálico refrigerado directamente por agua, y algunos objetivos cilíndricos no se pueden procesar ni formar, como el objetivo de In₂-SnO₂, etc., mediante prensado isostático en caliente con material en polvo para obtener objetivos de forma laminar. Debido a su tamaño limitado y a su fragilidad, es necesario utilizar soldadura fuerte y una placa de cobre para integrarlos e instalarlos en la base del objetivo. Además de los tubos metálicos, los objetivos columnares también se pueden pulverizar sobre la superficie de tubos de acero inoxidable con diversos materiales que requieren recubrimiento, como Si, Cr, etc.
Actualmente, la proporción de objetivos cilíndricos para recubrimientos en la producción industrial está aumentando. Estos objetivos no solo se utilizan en máquinas de recubrimiento verticales, sino también en máquinas de recubrimiento de rollo a rollo. En los últimos años, los objetivos gemelos planos han sido reemplazados gradualmente por objetivos gemelos cilíndricos.
——Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unafabricante de máquinas de recubrimiento óptico.
Hora de publicación: 11 de mayo de 2023