(4) Υλικό-στόχος. Το υλικό-στόχος είναι το κλειδί για την επικάλυψη με ψεκασμό, γενικά, εφόσον το υλικό-στόχος πληροί τις απαιτήσεις, και μπορεί να απαιτείται αυστηρός έλεγχος των παραμέτρων της διεργασίας για την απόκτηση του στρώματος μεμβράνης. Οι ακαθαρσίες στο υλικό-στόχο και τα επιφανειακά οξείδια και άλλες ακάθαρτες ουσίες αποτελούν σημαντική πηγή μόλυνσης της μεμβράνης, επομένως, για να επιτευχθεί ένα στρώμα υψηλής καθαρότητας, εκτός από τη χρήση υλικού-στόχου υψηλής καθαρότητας, σε κάθε ψεκασμό θα πρέπει να γίνεται ο πρώτος στόχος για προ-ψεκασμό, προκειμένου να καθαριστεί η επιφάνεια του στόχου, για να αφαιρεθεί η επιφάνεια του στόχου από το στρώμα οξειδίου.
(5) Κενό υποβάθρου. Το επίπεδο του κενού υποβάθρου αντανακλά άμεσα την ποσότητα του υπολειμματικού αερίου στο σύστημα και το υπολειμματικό αέριο αποτελεί επίσης σημαντική πηγή μόλυνσης του στρώματος της μεμβράνης, επομένως το κενό υποβάθρου θα πρέπει να βελτιωθεί όσο το δυνατόν περισσότερο. Ένα άλλο πρόβλημα σχετικά με τη ρύπανση είναι η αντλία διάχυσης λαδιού πίσω στο λάδι, με αποτέλεσμα την πρόσμιξη άνθρακα στη μεμβράνη. Οι πιο αυστηρές απαιτήσεις της μεμβράνης θα πρέπει να λάβουν τα κατάλληλα μέτρα ή να χρησιμοποιήσουν σύστημα άντλησης υψηλού κενού χωρίς λάδι.
(6) πίεση αέρα ψεκασμού. Η πίεση του αέρα λειτουργίας επηρεάζει άμεσα τον ρυθμό εναπόθεσης της μεμβράνης.
Επιπλέον, λόγω των διαφορετικών συσκευών ψεκασμού στο ηλεκτρικό πεδίο, την ατμόσφαιρα, το υλικό-στόχο, τη θερμοκρασία του υποστρώματος και τη γεωμετρική δομή των παραμέτρων της αλληλεπίδρασης μεταξύ της μεμβράνης για την παραγωγή των απαιτήσεων, είναι απαραίτητο να γίνουν πειράματα στις παραμέτρους της διεργασίας, από τις οποίες προκύπτουν οι καλύτερες συνθήκες διεργασίας.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 05 Ιανουαρίου 2024