1) Cylindriske mål har en højere udnyttelsesgrad end plane mål. I belægningsprocessen, uanset om det er et roterende magnetisk eller et roterende rørformet cylindrisk sputteringsmål, passerer alle dele af målrørets overflade kontinuerligt gennem det sputteringsområde, der genereres foran permanentmagneten for at modtage katodesputtering, og målet kan sputteres ensartet, og målets udnyttelsesgrad er høj. Udnyttelsesgraden af målmaterialerne er omkring 80%~90%.
2) Cylindriske mål vil ikke let forårsage "målforgiftning". Under belægningsprocessen bliver overfladen af målrøret altid forstøvet og ætset af ioner, og det er ikke let at ophobe tykke oxider og andre isolerende film på overfladen, og det er ikke let at forårsage "målforgiftning".
3) Strukturen af det cylindriske sputteringmål af den roterende målrørstype er enkel og nem at installere.
4) Det cylindriske målrørmateriale findes i forskellige typer. Plane mål med direkte vandkøling fra metalmål, og nogle kan ikke bearbejdes og formes til cylindriske mål, såsom In2-SnO2-mål osv. med pulvermateriale til varm isostatisk presning for at opnå pladelignende mål, fordi størrelsen ikke kan gøres stor og sprød, så det er nødvendigt at bruge loddemetoden og kobberbagpladen til at integrere og derefter installere på målbasen. Ud over metalrør kan søjleformede mål også sprøjtes på overfladen af rustfrit stålrør med forskellige materialer, der skal belægges, såsom Si, Cr osv.
I øjeblikket stiger andelen af cylindriske mål til belægning i industriel produktion. Cylindriske mål bruges ikke kun til vertikale belægningsmaskiner, men også i rulle-til-rulle-belægningsmaskiner. I de senere år er de plane dobbeltmål gradvist blevet erstattet af cylindriske dobbeltmål.
——Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua Technology, enproducent af optiske belægningsmaskiner.
Udsendelsestidspunkt: 11. maj 2023