(4) Deunydd targed. Deunydd targed yw'r allwedd i orchuddio chwistrellu, yn gyffredinol, cyn belled â bod y deunydd targed yn bodloni'r gofynion, a gall fod angen rheolaeth lem ar baramedrau'r broses i gael yr haen ffilm. Mae amhureddau yn y deunydd targed ac ocsidau arwyneb a sylweddau amhur eraill yn ffynhonnell bwysig o halogiad ffilm, felly er mwyn cael haen purdeb uchel, yn ogystal â defnyddio deunydd targed purdeb uchel, ym mhob chwistrellu dylid bod y targed cyntaf ar gyfer cyn-sbwtrio er mwyn glanhau wyneb y targed, i gael gwared ar yr haen ocsid o wyneb y targed.
(5) Gwactod cefndir. Mae lefel y gwactod cefndir yn adlewyrchu'n uniongyrchol faint o nwy gweddilliol yn y system, ac mae nwy gweddilliol hefyd yn ffynhonnell bwysig o halogiad yr haen ffilm, felly dylid gwella'r gwactod cefndir cymaint â phosibl. Problem arall o ran llygredd yw bod y pwmp trylediad olew yn dychwelyd i'r olew, gan arwain at ddopio carbon yn y bilen, felly dylai gofynion llymach y bilen gymryd mesurau priodol neu ddefnyddio system bwmpio gwactod uchel di-olew.
(6) pwysedd aer chwistrellu. Mae'r pwysedd aer gweithio yn effeithio'n uniongyrchol ar gyfradd dyddodiad y bilen.
Yn ogystal, oherwydd y gwahanol ddyfeisiau chwistrellu yn y maes trydan, yr atmosffer, y deunydd targed, tymheredd y swbstrad a strwythur geometrig paramedrau'r rhyngweithio rhwng y bilen i gynhyrchu'r gofynion, mae angen gwneud arbrofion ar baramedrau'r broses, ac o ba rai y mae'r amodau proses gorau.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Ion-05-2024