1) Válcové terče mají vyšší míru využití než planární terče. V procesu nanášení povlaku, ať už se jedná o rotační magnetický nebo rotační trubkový válcový naprašovací terč, všechny části povrchu trubky terče nepřetržitě procházejí naprašovací plochou vytvořenou před permanentním magnetem, kde přijímají katodové naprašování. Terč může být rovnoměrně naprašován a leptán a míra využití terče je vysoká. Míra využití materiálů terče je asi 80 % až 90 %.
2) Válcové terče nebudou snadno způsobovat „otravu terče“. Během procesu nanášení povlaku je povrch terčové trubice neustále naprašován a leptán ionty, a proto se na povrchu nehromadí silné oxidy a další izolační filmy, a proto není snadné způsobit „otravu terče“.
3) Struktura válcového naprašovacího terče s rotační trubicí je jednoduchá a snadno se instaluje.
4) Válcové terčové materiály mají různé typy. Planární terč s kovovým terčem s přímým vodním chlazením a některé nelze zpracovat a tvarovat válcové terče, jako například In2-SnO2 terč atd. s práškovým materiálem pro izostatické lisování za tepla, aby se získaly deskovité terče, protože velikost nelze zvětšit a jsou křehké, proto je nutné použít metodu pájení a měděnou zadní desku pro integraci a následnou instalaci na základnu terče. Kromě kovových trubek lze na povrch nerezových trubek stříkat také sloupcové terče s různými materiály, které je třeba potáhnout, jako je Si, Cr atd.
V současné době se v průmyslové výrobě zvyšuje podíl válcových terčů pro povlakování. Válcové terče se používají nejen pro vertikální povlakovací stroje, ale také pro povlakovací stroje typu roll-to-roll. V posledních letech jsou planární dvojité terče postupně nahrazovány válcovými dvojitými terči.
——Tento článek byl zveřejněn společností Guangdong Zhenhua Technology,výrobce strojů na optické povlakování.
Čas zveřejnění: 11. května 2023