1) I bersagli cilindrichi anu un tassu d'utilizazione più altu ch'è i bersagli planari. In u prucessu di rivestimentu, ch'ellu sia un tipu magneticu rotativu o un tipu di bersagliu di sputtering cilindricu di tipu tubu rotativu, tutte e parte di a superficia di u tubu di bersagliu passanu continuamente per l'area di sputtering generata davanti à u magnetu permanente per riceve u sputtering di u catodu, è u bersagliu pò esse incisu uniformemente per sputtering, è u tassu d'utilizazione di u bersagliu hè altu. U tassu d'utilizazione di i materiali di u bersagliu hè di circa 80% ~ 90%.
2) I bersagli cilindrichi ùn saranu micca faciuli da pruduce "avvelenamentu di u bersagliu". Durante u prucessu di rivestimentu, a superficia di u tubu di u bersagliu hè sempre sputterizzata è incisa da ioni, è ùn hè micca faciule accumulà ossidi spessi è altri filmi isolanti nantu à a superficia, è ùn hè micca faciule da pruduce "avvelenamentu di u bersagliu".
3) A struttura di u tubu di mira rotativu di tipu bersagliu cilindricu di sputtering hè simplice è faciule da stallà.
4) U materiale di u tubu di mira cilindricu hà diversi tipi. Mira planare cù mira metallica raffreddamentu direttu à l'acqua, è alcuni ùn ponu micca esse trattati è furmati mira cilindrici, cum'è mira In2-SnO2, ecc. cù materiale in polvere per pressatura isostatica à caldu per ottene mira in forma di piastra, perchè a dimensione ùn pò esse fatta grande, è fragile, dunque hè necessariu aduprà u metudu di brasatura è una piastra posteriore in rame per integrà è poi installà nantu à a basa di a mira. In più di i tubi metallici, i mira colonnari ponu ancu esse spruzzati nantu à a superficia di i tubi d'acciaio inox cù diversi materiali chì devenu esse rivestiti, cum'è Si, Cr, ecc.
Attualmente, a pruporzione di bersagli cilindrici per u rivestimentu in a pruduzzione industriale hè in crescita. I bersagli cilindrici ùn sò micca solu aduprati per a macchina di rivestimentu verticale, ma ancu aduprati in a macchina di rivestimentu roll-to-roll. In l'ultimi anni, i bersagli gemelli planari sò stati gradualmente rimpiazzati da i bersagli gemelli cilindrici.
—— Questu articulu hè statu publicatu da Guangdong Zhenhua Technology, unafabbricante di macchine di rivestimentu otticu.
Data di publicazione: 11 di maghju 2023