1) Els objectius cilíndrics tenen una taxa d'utilització més alta que els objectius plans. En el procés de recobriment, tant si es tracta d'un objectiu de pulverització catòdica cilíndrica de tipus magnètic rotatiu com de tipus tub rotatiu, totes les parts de la superfície del tub objectiu passen contínuament a través de l'àrea de pulverització catòdica generada davant de l'imant permanent per rebre la pulverització catòdica, i l'objectiu es pot gravar uniformement per pulverització catòdica, i la taxa d'utilització de l'objectiu és alta. La taxa d'utilització dels materials objectiu és d'aproximadament el 80% ~ 90%.
2) Les dianes cilíndriques no produiran fàcilment "intoxicació diana". Durant el procés de recobriment, la superfície del tub diana sempre es polvoritza i es grava amb ions, i no és fàcil acumular òxids gruixuts i altres pel·lícules aïllants a la superfície, i no és fàcil produir "intoxicació diana".
3) L'estructura de la diana de pulverització catòdica cilíndrica tipus tub de diana rotativa és senzilla i fàcil d'instal·lar.
4) El material del tub objectiu cilíndric té diversos tipus. Objectius plans amb refrigeració directa per aigua per a objectius metàl·lics, i alguns no es poden processar i formar objectius cilíndrics, com ara objectius d'In2-SnO2, etc. amb material en pols per premsat isostàtic en calent per obtenir objectius en forma de placa, perquè la mida no es pot fer gran i fràgil, per la qual cosa cal utilitzar el mètode de soldadura i una placa posterior de coure per integrar i després instal·lar a la base de l'objectiu. A més de les canonades metàl·liques, els objectius columnars també es poden ruixar a la superfície de les canonades d'acer inoxidable amb diversos materials que cal recobrir, com ara Si, Cr, etc.
Actualment, la proporció de dianes cilíndriques per a recobriments en la producció industrial està augmentant. Les dianes cilíndriques no només s'utilitzen per a la màquina de recobriment vertical, sinó que també s'utilitzen a la màquina de recobriment de rotlle a rotlle. En els darrers anys, les dianes bessones planes s'han anat substituint gradualment per dianes bessones cilíndriques.
——Aquest article ha estat publicat per Guangdong Zhenhua Technology, una empresafabricant de màquines de recobriment òptic.
Data de publicació: 11 de maig de 2023