(4) Materijal mete. Materijal mete je ključan za raspršivanje premaza, općenito, sve dok materijal mete ispunjava zahtjeve, a za dobijanje sloja filma može biti potrebna stroga kontrola parametara procesa. Nečistoće u materijalu mete i površinski oksidi i druge nečiste tvari važan su izvor kontaminacije filma, pa da bi se dobio sloj visoke čistoće, pored upotrebe materijala mete visoke čistoće, pri svakom raspršivanju, prva meta treba biti prethodno raspršena kako bi se očistila površina mete i uklonio sloj oksida s površine mete.
(5) Pozadinski vakuum. Nivo pozadinskog vakuuma direktno odražava količinu preostalog gasa u sistemu, a preostali gas je također važan izvor kontaminacije filmskog sloja, tako da pozadinski vakuum treba poboljšati koliko god je to moguće. Drugi problem zagađenja je pumpanje ulja difuzijom nazad u ulje, što rezultira dopiranjem ugljikom u membrani, te bi trebalo poduzeti odgovarajuće mjere za strožije zahtjeve membrane ili koristiti sistem pumpanja visokog vakuuma bez ulja.
(6) pritisak zraka za raspršivanje. Radni pritisak zraka direktno utiče na brzinu taloženja membrane.
Osim toga, zbog različitih uređaja za raspršivanje u električnom polju, atmosferi, materijalu mete, temperaturi podloge i geometrijskoj strukturi parametara interakcije između membrane kako bi se proizveli zahtjevi, potrebno je provesti eksperimente s parametrima procesa, iz kojih se biraju najbolji uvjeti procesa.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 05.01.2024.