1) Cilindrične mete imaju veću stopu iskorištenja od planarnih meta. U procesu nanošenja premaza, bilo da se radi o cilindričnoj meti za raspršivanje rotirajućeg magnetskog tipa ili rotirajuće cijevi, svi dijelovi površine cijevi mete kontinuirano prolaze kroz područje raspršivanja generirano ispred permanentnog magneta kako bi primili katodno raspršivanje, te se meta može ravnomjerno raspršivati i nagrizati, a stopa iskorištenja mete je visoka. Stopa iskorištenja materijala mete je oko 80%~90%.
2) Cilindrične mete neće lako izazvati „trovanje mete“. Tokom procesa premazivanja, površina cijevi mete je uvijek raspršena i nagrizena ionima, te nije lako akumulirati debele okside i druge izolacijske filmove na površini, te nije lako izazvati „trovanje mete“.
3) Struktura cilindrične mete za raspršivanje tipa rotirajuće cijevi je jednostavna i laka za instalaciju.
4) Materijal cilindrične mete je različit. Planarna meta s metalnom metom koja se direktno hladi vodom, a neke se ne mogu obrađivati i formirati cilindrične mete, kao što je In2-SnO2 meta itd., s praškastim materijalom za vruće izostatsko presovanje kako bi se dobile mete u obliku ploča, jer se veličina ne može napraviti velika i lomljiva je, pa je potrebno koristiti metodu lemljenja i bakrenu zadnju ploču za integraciju, a zatim postavljanje na bazu mete. Pored metalnih cijevi, stupčaste mete mogu se također prskati na površinu cijevi od nehrđajućeg čelika s različitim materijalima koje je potrebno premazati, kao što su Si, Cr itd.
Trenutno se udio cilindričnih meta za premazivanje u industrijskoj proizvodnji povećava. Cilindrične mete se ne koriste samo za vertikalne mašine za premazivanje, već se koriste i u mašinama za premazivanje tipa "rola po rolnu". Posljednjih godina, planarne dvostruke mete postepeno se zamjenjuju cilindričnim dvostrukim metama.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač mašina za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: 11. maj 2023.