১) নলাকার লক্ষ্যবস্তুগুলির ব্যবহারের হার সমতল লক্ষ্যবস্তুর তুলনায় বেশি। আবরণ প্রক্রিয়ায়, এটি একটি ঘূর্ণমান চৌম্বকীয় ধরণের বা একটি ঘূর্ণমান টিউব ধরণের নলাকার স্পুটারিং লক্ষ্যবস্তু হোক না কেন, লক্ষ্য নলের পৃষ্ঠের সমস্ত অংশ ক্রমাগত স্থায়ী চুম্বকের সামনে উৎপন্ন স্পুটারিং এলাকার মধ্য দিয়ে যায় যাতে ক্যাথোড স্পুটারিং গ্রহণ করা যায়, এবং লক্ষ্যবস্তুটি সমানভাবে খোদাই করা যেতে পারে, এবং লক্ষ্যবস্তু ব্যবহারের হার বেশি। লক্ষ্যবস্তু উপকরণের ব্যবহারের হার প্রায় ৮০%~৯০%।
২) নলাকার লক্ষ্যবস্তু থেকে "টার্গেট পয়জনিং" তৈরি করা সহজ হবে না। আবরণ প্রক্রিয়া চলাকালীন, লক্ষ্য নলের পৃষ্ঠ সর্বদা আয়ন দ্বারা ছিটিয়ে এবং খোদাই করা হয়, এবং পৃষ্ঠে পুরু অক্সাইড এবং অন্যান্য অন্তরক ফিল্ম জমা করা সহজ নয়, এবং "টার্গেট পয়জনিং" তৈরি করা সহজ নয়।
৩) ঘূর্ণমান লক্ষ্য টিউব ধরণের নলাকার স্পুটারিং লক্ষ্যের গঠন সহজ এবং ইনস্টল করা সহজ।
৪) নলাকার লক্ষ্য নল উপাদানের বিভিন্ন প্রকারভেদ রয়েছে। ধাতব লক্ষ্যবস্তু সরাসরি জল শীতলকরণ সহ সমতল লক্ষ্যবস্তু, এবং কিছু প্রক্রিয়াজাত করা যায় না এবং নলাকার লক্ষ্যবস্তু তৈরি করা যায় না, যেমন In2-SnO2 লক্ষ্যবস্তু, ইত্যাদি। প্লেটের মতো লক্ষ্যবস্তু পেতে গরম আইসোস্ট্যাটিক চাপের জন্য পাউডার উপাদান ব্যবহার করা হয়, কারণ আকারটি বড় এবং ভঙ্গুর করা যায় না, তাই লক্ষ্যবস্তুতে একত্রিত করার জন্য এবং তারপরে ইনস্টল করার জন্য ব্রেজিং পদ্ধতি এবং তামার ব্যাকপ্লেট ব্যবহার করা প্রয়োজন। ধাতব পাইপ ছাড়াও, কলামার লক্ষ্যবস্তুগুলি স্টেইনলেস স্টিলের পাইপের পৃষ্ঠে বিভিন্ন উপকরণ দিয়ে স্প্রে করা যেতে পারে যা লেপ করা প্রয়োজন, যেমন Si, Cr, ইত্যাদি।
বর্তমানে, শিল্প উৎপাদনে আবরণের জন্য নলাকার লক্ষ্যমাত্রার অনুপাত বৃদ্ধি পাচ্ছে। নলাকার লক্ষ্যমাত্রাগুলি কেবল উল্লম্ব আবরণ মেশিনের জন্যই নয়, রোল টু রোল আবরণ মেশিনেও ব্যবহৃত হয়। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, প্ল্যানার টুইন লক্ষ্যমাত্রাগুলি ধীরে ধীরে নলাকার টুইন লক্ষ্য দ্বারা প্রতিস্থাপিত হচ্ছে।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, একটিঅপটিক্যাল লেপ মেশিনের প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-১১-২০২৩