1) Цилиндричните мишени имат по-висок коефициент на използване от плоските мишени. В процеса на нанасяне на покритие, независимо дали става въпрос за цилиндрична разпрашителна мишена от ротационен магнитен тип или цилиндрична тръбна мишена, всички части на повърхността на тръбната мишена непрекъснато преминават през зоната на разпрашаване, генерирана пред постоянния магнит, за да приемат катодно разпрашаване, и мишената може да бъде равномерно разпрашена и ецвана, а коефициентът на използване на мишената е висок. Коефициентът на използване на материалите на мишената е около 80%~90%.
2) Цилиндричните мишени не предизвикват лесно „отравяне на мишени“. По време на процеса на нанасяне на покритие, повърхността на мишената е постоянно разпрашена и ецвана от йони и не е лесно да се натрупат дебели оксиди и други изолационни филми върху повърхността, и не е лесно да се предизвика „отравяне на мишени“.
3) Структурата на цилиндричната разпрашителна мишена тип ротационна тръба е проста и лесна за инсталиране.
4) Материалът на цилиндричната тръба за мишена е различен. Плоска мишена с метална мишена с директно водно охлаждане, а някои не могат да бъдат обработени и оформени цилиндрични мишени, като например In2-SnO2 мишена и др., с прахообразен материал за горещо изостатично пресоване, за да се получат пластиноподобни мишени, тъй като размерът не може да бъде голям и е крехък, така че е необходимо да се използва метод на запояване и медна задна плоча за интегриране и след това монтиране върху основата на мишената. В допълнение към металните тръби, колоновидните мишени могат да бъдат пръскани върху повърхността на тръби от неръждаема стомана с различни материали, които трябва да бъдат покрити, като Si, Cr и др.
В момента делът на цилиндричните мишени за покритие в промишленото производство се увеличава. Цилиндричните мишени се използват не само за вертикални машини за покритие, но и за машини за покритие от ролка до ролка. През последните години плоските двойни мишени постепенно се заменят с цилиндрични двойни мишени.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology,производител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 11 май 2023 г.