(4) Матэрыял мішэні. Матэрыял мішэні з'яўляецца ключом да распылення, у цэлым, пакуль матэрыял мішэні адпавядае патрабаванням, і для атрымання плёнкавага пласта можа спатрэбіцца строгі кантроль параметраў працэсу. Прымешкі ў матэрыяле мішэні, аксіды на паверхні і іншыя прымешкі з'яўляюцца важнай крыніцай забруджвання плёнкі, таму, каб атрымаць пласт высокай чысціні, акрамя выкарыстання матэрыялу мішэні высокай чысціні, пры кожным распыленні першая мішэнь павінна быць папярэдне распылена, каб ачысціць паверхню мішэні і выдаліць з яе аксідны пласт.
(5) Фонавы вакуум. Узровень фонавага вакууму непасрэдна адлюстроўвае колькасць рэшткавага газу ў сістэме, і рэшткавы газ таксама з'яўляецца важнай крыніцай забруджвання плёнкавага пласта, таму фонавы вакуум неабходна максімальна палепшыць. Яшчэ адной праблемай забруджвання з'яўляецца вяртанне алею ў алей праз дыфузійны помпа, што прыводзіць да легіравання вугляродам мембраны. Для мембраны неабходна прыняць адпаведныя меры або выкарыстоўваць безалейную сістэму высокага вакууму.
(6) ціск паветра для распылення. Працоўны ціск паветра непасрэдна ўплывае на хуткасць нанясення мембраны.
Акрамя таго, з-за розных параметраў узаемадзеяння паміж мембранамі ў розных распыляльных прыладах, такіх як электрычнае поле, атмасфера, матэрыял мішэні, тэмпература падкладкі і геаметрычная структура, неабходна праводзіць эксперыменты па параметрах працэсу, каб вызначыць найлепшыя ўмовы працэсу.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 05 студзеня 2024 г.