1) Цыліндрычныя мішэні маюць больш высокі каэфіцыент выкарыстання, чым плоскія. У працэсе нанясення пакрыцця, няхай гэта будзе цыліндрычная распыляльная мішэнь з ратацыйным магнітным тыпам або цыліндрычная распыляльная мішэнь з ратацыйным трубчатым тыпам, усе часткі паверхні мішэні-трубы бесперапынна праходзяць праз зону распылення, якая ўтвараецца перад пастаянным магнітам, для атрымання катоднага распылення, і мішэнь можа быць раўнамерна распылена і пратраўлена, а каэфіцыент выкарыстання мішэні высокі. Каэфіцыент выкарыстання матэрыялаў мішэні складае каля 80%~90%.
2) Цыліндрычныя мішэні не так лёгка выклікаць «атручванне мішэні». Падчас працэсу нанясення пакрыцця паверхня мішэні-трубы заўсёды распыляецца і пратраўліваецца іонамі, і на паверхні не так лёгка назапашвацца тоўстыя аксіды і іншыя ізаляцыйныя плёнкі, і не так лёгка выклікаць «атручванне мішэні».
3) Канструкцыя цыліндрычнай распыляльнай мішэні тыпу паваротнай трубкі простая і лёгкая ў мантажы.
4) Матэрыял цыліндрычнай трубкі-мішэні мае розныя тыпы. Планарная мішэнь з металічнай мішэнню, якая астуджаецца вадой, а некаторыя мішэні нельга апрацоўваць і фармаваць цыліндрычнымі мішэнямі, такімі як мішэнь In2-SnO2 і г.д., з парашковым матэрыялам для гарачага ізастатычнага прэсавання для атрымання пласціністых мішэняў, паколькі памер нельга зрабіць вялікім і далікатным, таму неабходна выкарыстоўваць метад паяння і медную задняю пласціну для інтэграцыі і ўстаноўкі на аснову мішэні. Акрамя металічных труб, на паверхню труб з нержавеючай сталі можна наносіць розныя матэрыялы, якія патрабуюць пакрыцця, такія як Si, Cr і г.д.
У цяперашні час доля цыліндрычных мішэняў для пакрыццяў у прамысловай вытворчасці расце. Цыліндрычныя мішэні выкарыстоўваюцца не толькі для вертыкальных пакрывальных машын, але і для рулонных пакрывальных машын. У апошнія гады плоскія падвойныя мішэні паступова замяняюцца цыліндрычнымі падвойнымі мішэнямі.
——Гэты артыкул быў апублікаваны кампаніяй Guangdong Zhenhua Technology,вытворца машын для аптычнага пакрыцця.
Час публікацыі: 11 мая 2023 г.