1) Silindrik hədəflər planar hədəflərdən daha yüksək istifadə nisbətinə malikdir. Kaplama prosesində, istər fırlanan bir maqnit növü, istərsə də fırlanan boru tipli silindrik püskürtmə hədəfi olsun, hədəf borunun səthinin bütün hissələri davamlı maqnitin qarşısında əmələ gələn katod püskürtməsini qəbul etmək üçün davamlı olaraq püskürtmə sahəsindən keçir və hədəf bərabər şəkildə püskürtülə bilər və hədəf istifadə nisbəti yüksəkdir. Hədəf materialların istifadə nisbəti təxminən 80% ~ 90% təşkil edir.
2) Silindrik hədəfləri "hədəf zəhərlənməsi" yaratmaq asan olmayacaq. Kaplama prosesi zamanı hədəf borunun səthi həmişə ionlarla püskürür və aşındırılır və səthdə qalın oksidləri və digər izolyasiya filmlərini toplamaq asan deyil və "hədəf zəhərlənməsi" yaratmaq asan deyil.
3) Fırlanan hədəf boru tipli silindrik püskürtmə hədəfinin quruluşu sadədir və quraşdırmaq asandır.
4) Silindrik hədəf boru materialının müxtəlif növləri var. metal hədəf birbaşa su soyutma ilə planar hədəf və bəzi emal edilə bilməz və silindrik hədəflər, məsələn, In2-SnO2 hədəfi və s. boşqab kimi hədəfləri əldə etmək üçün isti izostatik presləmə üçün toz materialı ilə formalaşır, çünki ölçüsü böyük və kövrək edilə bilməz, buna görə də lehimləmə metodundan istifadə etmək və hədəfə inteqrasiya etmək üçün mis arxa lövhədən istifadə etmək lazımdır. Metal borulara əlavə olaraq, sütunlu hədəflər də paslanmayan polad boruların səthinə örtülməsi lazım olan müxtəlif materiallarla, məsələn, Si, Cr və s.
Hazırda sənaye istehsalında örtük üçün silindrik hədəflərin nisbəti artır. Silindrik hədəflər yalnız şaquli örtük maşını üçün istifadə edilmir, həm də rulondan yuvarlanan örtük maşınında istifadə olunur. Son illərdə planar əkiz hədəflər tədricən Silindrik əkiz hədəflərlə əvəz olunur.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology, aoptik örtük maşınlarının istehsalçısı.
Göndərmə vaxtı: 11 may 2023-cü il