(4) مادة الهدف. تُعدّ مادة الهدف أساس عملية رش الطلاء، طالما استوفت المتطلبات، ويمكن تطبيق رقابة صارمة على معايير العملية للحصول على طبقة الفيلم. تُعدّ الشوائب الموجودة في مادة الهدف وأكاسيد السطح والمواد غير النقية الأخرى مصدرًا مهمًا لتلوث الفيلم، لذلك، للحصول على طبقة عالية النقاء، بالإضافة إلى استخدام مادة هدف عالية النقاء، يجب في كل رش أن يكون الهدف الأول هو الرش المسبق لتنظيف سطح الهدف وإزالة طبقة الأكسيد من سطح الهدف.
(٥) الفراغ الخلفي. يعكس مستوى الفراغ الخلفي مباشرةً كمية الغاز المتبقي في النظام، وهو أيضًا مصدر مهم لتلوث طبقة الغشاء، لذا يجب تحسين الفراغ الخلفي قدر الإمكان. ومن المشاكل الأخرى المتعلقة بالتلوث، عودة مضخة انتشار الزيت إلى الزيت، مما يؤدي إلى تشويب الكربون في الغشاء. ولمواجهة متطلبات الغشاء الأكثر صرامة، ينبغي اتخاذ التدابير المناسبة أو استخدام نظام ضخ عالي الفراغ خالٍ من الزيت.
(6) ضغط الهواء المتطاير. يؤثر ضغط الهواء العامل بشكل مباشر على معدل ترسيب الغشاء.
بالإضافة إلى ذلك، بسبب اختلاف أجهزة الرش في المجال الكهربائي، والغلاف الجوي، ومادة الهدف، ودرجة حرارة الركيزة والبنية الهندسية لمعلمات التفاعل بين الغشاء لإنتاج المتطلبات، فمن الضروري إجراء تجارب على معلمات العملية، والتي من خلالها يتم الحصول على أفضل ظروف العملية.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: 05-01-2024