የፊልም ምስረታ ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድሩ ምክንያቶች ምዕራፍ 2

(4) የዒላማ ቁሳቁስ. የዒላማው ቁሳቁስ መስፈርቶቹን የሚያሟላ እስከሆነ ድረስ በአጠቃላይ ለመርጨት ቁልፍ ነው, እና የፊልም ንብርብር ለማግኘት የሂደቱን መለኪያዎች ጥብቅ ቁጥጥር ማድረግ ያስፈልጋል. በታለመው ንጥረ ነገር ውስጥ ያሉ ቆሻሻዎች እና የገጽታ ኦክሳይድ እና ሌሎች ርኩስ ንጥረ ነገሮች የፊልም ብክለት አስፈላጊ ምንጭ ናቸው, ስለዚህ ከፍተኛ የንጽህና ሽፋን ለማግኘት, ከፍተኛ ንፅህናን ከመጠቀም በተጨማሪ በእያንዳንዱ sputtering ውስጥ የኦክሳይድ ንብርብርን ለማስወገድ, የታለመውን ወለል ለማጽዳት ለቅድመ-ስፕቲንግ ዒላማ መሆን አለበት.

(5) የበስተጀርባ ክፍተት። የበስተጀርባ ቫክዩም ደረጃ በቀጥታ በሲስተሙ ውስጥ ያለውን ቀሪ ጋዝ መጠን ያንፀባርቃል ፣ እና ቀሪው ጋዝ እንዲሁ የፊልም ሽፋንን የመበከል አስፈላጊ ምንጭ ነው ፣ ስለሆነም የበስተጀርባ ቫክዩም በተቻለ መጠን መሻሻል አለበት። በሌላ ችግር ብክለት ላይ የነዳጅ ማከፋፈያ ፓምፕ ወደ ዘይት ይመለሳል, በዚህም ምክንያት በገለባው ውስጥ የካርቦን ዶፒንግ ያስከትላል, የሽፋኑ ይበልጥ ጥብቅ የሆኑ መስፈርቶች ተገቢውን እርምጃ መውሰድ ወይም ከዘይት ነጻ የሆነ ከፍተኛ የቫኩም ፓምፕ ሲስተም መጠቀም አለባቸው.
(6) የሚረጭ የአየር ግፊት። የሚሠራው የአየር ግፊቱ የሽፋኑን የማስቀመጫ መጠን በቀጥታ ይነካል.
በተጨማሪም የኤሌክትሪክ መስክ ውስጥ የተለያዩ sputtering መሣሪያዎች, ከባቢ አየር, ዒላማ ቁሳዊ, substrate ሙቀት እና መስፈርቶች ለማምረት ገለፈት መካከል ያለውን መስተጋብር መለኪያዎች መካከል substrate ሙቀት እና ጂኦሜትሪ መዋቅር, ይህ ሂደት መለኪያዎች ላይ ሙከራዎችን ማድረግ አስፈላጊ ነው, ይህም ከ የትኛው የተሻለ ሂደት ሁኔታዎች.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ