የሲሊንደሪክ ዒላማዎች ጥቅሞች

1) የሲሊንደሪክ ኢላማዎች ከዕቅድ ዒላማዎች የበለጠ የአጠቃቀም መጠን አላቸው። በሽፋን ሂደት ውስጥ ፣ የ rotary መግነጢሳዊ ዓይነት ወይም የ rotary tube አይነት ሲሊንደሪክ ስፕትተር ኢላማ ፣ ሁሉም የዒላማው ቱቦ ወለል ክፍሎች ያለማቋረጥ በቋሚው ማግኔት ፊት በተፈጠረው መተጣጠፊያ ቦታ ውስጥ ያልፋሉ እና ዒላማው ወጥ በሆነ መልኩ ሊቀረጽ ይችላል ፣ እና የዒላማው አጠቃቀም መጠን ከፍተኛ ነው። የታለሙ ቁሳቁሶች የአጠቃቀም መጠን 80% ~ 90% ገደማ ነው.

2) የሲሊንደሪክ ዒላማዎች "ዒላማ መርዝ" ለማምረት ቀላል አይሆንም. በሽፋን ሂደት ውስጥ, የታለመው ቱቦ ገጽታ ሁልጊዜ በ ions የተበተለ እና የተቀረጸ ነው, እና ወፍራም ኦክሳይዶችን እና ሌሎች መከላከያ ፊልሞችን በላዩ ላይ ማከማቸት ቀላል አይደለም, እና "የዒላማ መርዝ" ለማምረት ቀላል አይደለም.

3) የ rotary target tube type cylindrical sputtering target አወቃቀሩ ቀላል እና ለመጫን ቀላል ነው።

4) የሲሊንደሪክ ኢላማ ቱቦ ቁሳቁስ የተለያዩ ዓይነቶች አሉት. የብረት ዒላማ ቀጥተኛ ውሃ የማቀዝቀዝ ጋር planar ዒላማ, እና አንዳንድ እንደ In2-SnO2 ዒላማ, ወዘተ እንደ In2-SnO2 ዒላማ እንደ ሲሊንደራዊ ዒላማዎች መፈጠራቸውን, ሳህን-እንደ ዒላማዎች ለማግኘት ትኩስ isostatic በመጫን ፓውደር ቁሳዊ ጋር, መጠን ትልቅ, እና ተሰባሪ ሊሆን አይችልም ምክንያቱም, ስለዚህ ለመዋሃድ እና ዒላማ መሠረት ላይ ለመጫን brazing ዘዴ እና የመዳብ backplate መጠቀም አስፈላጊ ነው. ከብረት ቱቦዎች በተጨማሪ የአዕማድ ዒላማዎች ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች ላይ የተለያዩ መሸፈኛ በሚያስፈልጋቸው እንደ ሲ፣ ክሬን፣ ወዘተ ሊረጩ ይችላሉ።

በአሁኑ ጊዜ በኢንዱስትሪ ምርት ውስጥ ለመሸፈኛ የሲሊንደሪክ ኢላማዎች መጠን እየጨመረ ነው. የሲሊንደሪክ ዒላማዎች ለቀጥታ ሽፋን ማሽን ብቻ ሳይሆን ለመጠቅለያ ማሽን በሮል ውስጥም ይጠቀማሉ. በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የፕላነር መንትዮች ዒላማዎች ቀስ በቀስ በሲሊንደሪክ መንትያ ዒላማዎች ይተካሉ.

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዜንዋ ቴክኖሎጂ፣ አየኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.