1) Silindriese teikens het 'n hoër benuttingstempo as planêre teikens. In die bedekkingsproses, of dit nou 'n roterende magnetiese tipe of 'n roterende buistipe silindriese sputterteiken is, beweeg alle dele van die oppervlak van die teikenbuis voortdurend deur die sputterarea wat voor die permanente magneet gegenereer word om katode-sputtering te ontvang, en die teiken kan eenvormig gesputter en geëts word, en die teikenbenuttingstempo is hoog. Die benuttingstempo van teikenmateriale is ongeveer 80%~90%.
2) Silindriese teikens sal nie maklik "teikenvergiftiging" veroorsaak nie. Tydens die bedekkingsproses word die oppervlak van die teikenbuis altyd deur ione gesputter en geëts, en dit is nie maklik om dik oksiede en ander isolerende films op die oppervlak op te hoop nie, en dit is nie maklik om "teikenvergiftiging" te veroorsaak nie.
3) Die struktuur van die roterende teikenbuistipe silindriese sputterteiken is eenvoudig en maklik om te installeer.
4) Die silindriese teikenbuismateriaal het verskeie tipes. Vlak teiken met metaalteiken direkte waterverkoeling, en sommige kan nie verwerk en gevorm word met silindriese teikens nie, soos In2-SnO2 teiken, ens. met poeiermateriaal vir warm isostatiese persing om plaatagtige teikens te verkry, omdat die grootte nie groot gemaak kan word nie, en bros is, daarom is dit nodig om die soldeermetode en koperagterplaat te gebruik om te integreer en dan op die teikenbasis te installeer. Benewens metaalpype, kan kolomvormige teikens ook op die oppervlak van vlekvrye staalpype gespuit word met verskeie materiale wat bedek moet word, soos Si, Cr, ens.
Tans neem die proporsie silindriese teikens vir bedekking in industriële produksie toe. Silindriese teikens word nie net vir die vertikale bedekkingsmasjien gebruik nie, maar ook in die rol-tot-rol-bedekkingsmasjien. In onlangse jare word die planêre dubbelteikens geleidelik vervang deur die silindriese dubbelteikens.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, 'nvervaardiger van optiese bedekkingsmasjiene.
Plasingstyd: 11 Mei 2023