Wakuum örtük tehnologiýasy elektronikada, optikada, gaplamada, bezegde we beýleki ugurlarda giňden ulanylýan, wakuum gurşawynda substrat materiallarynyň ýüzüne inçe plýonka materiallaryny ýerleşdirýän tehnologiýadyr. Wakuum örtük enjamlaryny esasan aşakdaky görnüşlere bölmek bolýar:
1. Termal buharlandyryş örtük enjamlary: bu iň däp bolan wakuum örtük usulydyr, buharlandyryş gämisinde inçe plýonka materialyny gyzdyrmak arkaly material buharlanýar we substrat materialynyň ýüzüne ýerleşdirilýär.
2. Püskürtme örtük enjamlary: nyşana materialyň ýüzüne urmak üçin ýokary energiýaly ionlary ulanmak arkaly nyşana materialyň atomlary püskürtülýär we substrat materialyna ýerleşdirilýär. Magnetron püskürtme köpçülikleýin önümçilik üçin amatly bolan plýonkanyň has deň we has berk ýelmeşmegini üpjün edip bilýär.
3. Ion şöhlelerini ýerleşdirmek üçin enjamlar: Ion şöhleleri inçe plýonkaly materiallary substrata ýerleşdirmek üçin ulanylýar. Bu usul örän deň plýonkalary alyp bilýär we ýokary takyklyk talaplary bolan ýagdaýlar üçin amatly, ýöne enjamyň bahasy ýokary.
4. Himiki Bug Çökdürme (HBÇ) Enjamlary: Himiki reaksiýa arkaly substrat materialynyň ýüzünde inçe plyonkalar emele getirýär. Bu usul ýokary hilli, köp görnüşli plyonkalary taýýarlap biler, ýöne enjam çylşyrymly we gymmat.
5. Molekulýar Şöhle Epitaksiýasy (MBE) enjamlary: Bu atom derejesinde inçe plýonkalaryň ösüşini gözegçilikde saklamagyň usulydyr we esasan ýarymgeçiriji we nanotexnologiýa ulgamlary üçin ultra inçe gatlaklary we köp gatlakly gurluşlary taýýarlamak üçin ulanylýar.
6. Plazma arkaly güýçlendirilen himiki bug çökündisi (PECVD) enjamy: Bu, pes temperaturada inçe plyonkalaryň çalt emele gelmegine mümkinçilik berýän himiki reaksiýa arkaly inçe plyonkalaryň çökündisini güýçlendirmek üçin plazmany ulanýan usuldyr.
7. Impulsly lazer çökündisi (PLD) enjamlary: Bular nyşana urmak, nyşanyň ýüzünden materiallary bugartmak we substrata goýmak üçin ýokary energiýaly lazer impulslaryny ulanýar we ýokary hilli, çylşyrymly oksid plýonkalaryny ösdürmek üçin amatlydyr.
Bu enjamlaryň her biriniň dizaýnynda we işleýşinde özüne mahsus aýratynlyklary bar we dürli senagat ulanylyşlary we ylmy-barlag ugurlary üçin amatlydyr. Tehnologiýanyň ösmegi bilen wakuum örtük tehnologiýasy hem ösýär we täze wakuum örtük enjamlary hem peýda bolýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşynyöndüriji Guangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 12-nji iýuny