ການຈັດປະເພດຂອງອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນຫຍັງ?

ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ວາງວັດສະດຸຟິມບາງໆລົງເທິງໜ້າດິນຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນດ້ານເອເລັກໂຕຣນິກ, ທັດສະນະ, ການຫຸ້ມຫໍ່, ການຕົກແຕ່ງ ແລະ ຂົງເຂດອື່ນໆ. ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດສາມາດແບ່ງອອກເປັນປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ອຸປະກອນເຄືອບລະເຫີຍດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ: ນີ້ແມ່ນວິທີການເຄືອບສູນຍາກາດແບບດັ້ງເດີມທີ່ສຸດ, ໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ວັດສະດຸຟິມບາງໆໃນເຮືອລະເຫີຍ, ວັດສະດຸຈະຖືກລະເຫີຍ ແລະ ວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານ.
2. ອຸປະກອນເຄືອບສະເປເຕີຣິງ: ການໃຊ້ໄອອອນພະລັງງານສູງເພື່ອຕົກໃສ່ໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ອະຕອມວັດສະດຸເປົ້າໝາຍຈະຖືກສະເປເຕີຣິງ ແລະ ຝາກລົງໃສ່ວັດສະດຸພື້ນຖານ. ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນສາມາດໄດ້ຮັບຄວາມຍຶດຕິດທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ແຂງແຮງກວ່າຂອງຟິມ, ເໝາະສຳລັບການຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ.
3. ອຸປະກອນການວາງລຳແສງໄອອອນ: ລຳແສງໄອອອນຖືກໃຊ້ເພື່ອວາງວັດສະດຸຟິມບາງໆລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ວິທີການນີ້ສາມາດໄດ້ຮັບຟິມທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍ ແລະ ເໝາະສົມສຳລັບໂອກາດທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ແຕ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງອຸປະກອນແມ່ນສູງ.
4. ອຸປະກອນການຕົກຕະກອນໄອເຄມີ (CVD): ປະກອບເປັນຟິມບາງໆເທິງໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານຜ່ານປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ວິທີການນີ້ສາມາດກະກຽມຟິມຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ແຕ່ອຸປະກອນມີຄວາມສັບສົນ ແລະ ມີລາຄາແພງ.
5. ອຸປະກອນ Molecular Beam Epitaxy (MBE): ນີ້ແມ່ນວິທີການຄວບຄຸມການເຕີບໂຕຂອງຟິມບາງໆໃນລະດັບອະຕອມ ແລະ ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສຳລັບການກະກຽມຊັ້ນບາງໆ ແລະ ໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນສຳລັບການນຳໃຊ້ semiconductor ແລະ nanotechnology.
6. ອຸປະກອນການຕົກຕະກອນໄອລະເຫີຍເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD): ນີ້ແມ່ນເຕັກນິກທີ່ໃຊ້ພລາສມາເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການຕົກຕະກອນຂອງຟິມບາງໆໂດຍປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດສ້າງຟິມບາງໆໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳ.
7. ອຸປະກອນການວາງລັງສີເລເຊີແບບກະພິບ (PLD): ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ລັງສີເລເຊີພະລັງງານສູງເພື່ອຍິງເປົ້າໝາຍ, ລະເຫີຍວັດສະດຸອອກຈາກໜ້າດິນເປົ້າໝາຍ ແລະ ວາງມັນໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະ ເໝາະສົມສຳລັບການປູກຟິມອອກໄຊທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ຊັບຊ້ອນ.
ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ແຕ່ລະຊະນິດມີລັກສະນະສະເພາະໃນການອອກແບບ ແລະ ການດຳເນີນງານ ແລະ ເໝາະສົມກັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳ ແລະ ຂົງເຂດການຄົ້ນຄວ້າທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ດ້ວຍການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດກໍ່ມີຄວາມກ້າວໜ້າເຊັ່ນກັນ, ແລະ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດແບບໃໝ່ກໍ່ກຳລັງເກີດຂຶ້ນ.

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດ Guangdong Zhenhua