បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលដាក់សម្ភារៈស្រទាប់ស្តើងៗលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមបរិយាកាសសុញ្ញកាស ដែលត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យអេឡិចត្រូនិច អុបទិក ការវេចខ្ចប់ ការតុបតែង និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសអាចបែងចែកជាចម្បងទៅជាប្រភេទដូចខាងក្រោម៖
១. ឧបករណ៍ថ្នាំកូតហួតកម្ដៅ៖ នេះគឺជាវិធីសាស្ត្រថ្នាំកូតបូមធូលីបែបប្រពៃណីបំផុត ដោយកំដៅសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅក្នុងទូកហួត សម្ភារៈត្រូវបានហួត ហើយដាក់លើផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។
2. ឧបករណ៍ថ្នាំកូតបាញ់៖ ដោយប្រើអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ដើម្បីប៉ះនឹងផ្ទៃនៃសម្ភារៈគោលដៅ អាតូមសម្ភារៈគោលដៅត្រូវបានបាញ់ ហើយដាក់ទៅលើសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។ ការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុងអាចទទួលបានការស្អិតជាប់កាន់តែឯកសណ្ឋាន និងរឹងមាំជាងមុននៃខ្សែភាពយន្ត ដែលសមស្របសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
៣.ឧបករណ៍ដាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង៖ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ វិធីសាស្ត្រនេះអាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានខ្លាំង ហើយសមរម្យសម្រាប់ឱកាសដែលមានតម្រូវការភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ប៉ុន្តែតម្លៃឧបករណ៍គឺខ្ពស់។
៤. ឧបករណ៍ដាក់ចំហាយគីមី (CVD)៖ បង្កើតជាស្រទាប់ស្តើងៗលើផ្ទៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។ វិធីសាស្ត្រនេះអាចរៀបចំស្រទាប់ច្រើនប្រភេទដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ប៉ុន្តែឧបករណ៍នេះមានភាពស្មុគស្មាញ និងចំណាយច្រើន។
៥. ឧបករណ៍ Epitaxy ធ្នឹមម៉ូលេគុល (MBE)៖ នេះគឺជាវិធីសាស្រ្តមួយក្នុងការគ្រប់គ្រងការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងៗនៅកម្រិតអាតូម ហើយភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការរៀបចំស្រទាប់ស្តើងបំផុត និងរចនាសម្ព័ន្ធពហុស្រទាប់សម្រាប់កម្មវិធីស៊ីមីកុងដុកទ័រ និងណាណូបច្ចេកវិទ្យា។
៦. ឧបករណ៍ដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្លាស្មា (PECVD)៖ នេះគឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលប្រើប្លាស្មាដើម្បីបង្កើនការដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗដោយប្រតិកម្មគីមី ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការបង្កើតស្រទាប់ស្តើងៗយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅសីតុណ្ហភាពទាប។
៧. ឧបករណ៍បញ្ចេញឡាស៊ែរដោយប្រើជីពចរ (PLD)៖ ឧបករណ៍ទាំងនេះប្រើជីពចរឡាស៊ែរថាមពលខ្ពស់ដើម្បីវាយប្រហារគោលដៅ ហួតសម្ភារៈចេញពីផ្ទៃគោលដៅ ហើយដាក់វាទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយវាស័ក្តិសមសម្រាប់ការដាំខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដស្មុគស្មាញដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
ឧបករណ៍នីមួយៗទាំងនេះមានលក្ខណៈផ្ទាល់ខ្លួននៅក្នុងការរចនា និងប្រតិបត្តិការ ហើយវាសមស្របសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម និងវិស័យស្រាវជ្រាវផ្សេងៗគ្នា។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យា បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតបូមធូលីក៏កំពុងរីកចម្រើនផងដែរ ហើយឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីថ្មីក៏កំពុងលេចចេញជារូបរាងផងដែរ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្រុមហ៊ុនផលិត Guangdong Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១២ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៤