ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسى ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا ئاساسىي ماتېرىياللارنىڭ يۈزىگە نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنى چاپلايدىغان بىر تېخنىكا بولۇپ، ئېلېكترون، ئوپتىكا، ئورالما، بېزەكچىلىك قاتارلىق ساھەلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ. ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئاساسلىقى تۆۋەندىكى تۈرلەرگە ئايرىلىدۇ:
1. ئىسسىقلىق بىلەن پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش ئۈسكۈنىسى: بۇ ئەڭ ئەنئەنىۋى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۇسۇلى بولۇپ، پارغا ئايلاندۇرۇش كېمىسىدە نېپىز پەردە ماتېرىيالىنى قىزىتىش ئارقىلىق، ماتېرىيال پارغا ئايلاندۇرۇلۇپ، ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ يۈزىگە قويۇلىدۇ.
2. پۈركۈش قاپلاش ئۈسكۈنىسى: نىشان ماتېرىيالنىڭ يۈزىگە يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئىئونلارنى ئىشلىتىپ، نىشان ماتېرىيال ئاتوملىرى پۈركۈلۈپ، ئاساسىي ماتېرىيالغا قويۇلىدۇ. ماگنىترون پۈركۈش ئارقىلىق پىلاستىنكىنىڭ تېخىمۇ تەكشى ۋە كۈچلۈك يېپىشىشىغا ئېرىشكىلى بولىدۇ، بۇ كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشقا ماس كېلىدۇ.
3. ئىئون نۇرى قويۇش ئۈسكۈنىسى: ئىئون نۇرى نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنى ئاساسىي قاتلامغا قويۇشقا ئىشلىتىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل ناھايىتى بىردەك پەردە ھاسىل قىلالايدۇ ھەمدە يۇقىرى ئېنىقلىق تەلىپى بار ئەھۋاللارغا ماس كېلىدۇ، ئەمما ئۈسكۈنىنىڭ باھاسى يۇقىرى.
4. خىمىيىلىك پارغا چۆكۈش (CVD) ئۈسكۈنىلىرى: خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق ئاساسىي ماتېرىيالنىڭ يۈزىدە نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇسۇل يۇقىرى سۈپەتلىك، كۆپ خىل پەردىلەرنى تەييارلىيالايدۇ، ئەمما ئۈسكۈنىلەر مۇرەككەپ ۋە قىممەت.
5. مولېكۇلا نۇر ئېپىتاكسىيىسى (MBE) ئۈسكۈنىسى: بۇ ئاتوم سەۋىيىسىدىكى نېپىز پەردىلەرنىڭ ئۆسۈشىنى كونترول قىلىش ئۇسۇلى بولۇپ، ئاساسلىقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە نانوتېخنىكا قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن نېپىز قەۋەتلەر ۋە كۆپ قەۋەتلىك قۇرۇلمىلارنى تەييارلاشتا ئىشلىتىلىدۇ.
6. پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (PECVD) ئۈسكۈنىسى: بۇ پلازما ئارقىلىق خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق نېپىز پەردىلەرنىڭ چۆكمىسىنى كۈچەيتىدىغان بىر تېخنىكا بولۇپ، تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا نېپىز پەردىلەرنىڭ تېز شەكىللىنىشىگە شارائىت ھازىرلايدۇ.
7. ئىمپۇلسلىق لازېرلىق چۆكمە (PLD) ئۈسكۈنىلىرى: بۇلار نىشانغا تېگىش، نىشان يۈزىدىكى ماتېرىيالنى پارغا ئايلاندۇرۇش ۋە ئاساسىي قاتلامغا قويۇش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك لازېر ئىمپۇلسلىرىنى ئىشلىتىدۇ، ھەمدە يۇقىرى سۈپەتلىك، مۇرەككەپ ئوكسىد پەردىلىرىنى ئۆستۈرۈشكە ماس كېلىدۇ.
بۇ ئۈسكۈنىلەرنىڭ ھەر بىرىنىڭ لايىھەلەش ۋە ئىشلىتىش جەھەتتە ئۆزىگە خاس ئالاھىدىلىكلىرى بار بولۇپ، ھەر خىل سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ۋە تەتقىقات ساھەلىرىگە ماس كېلىدۇ. تېخنىكىنىڭ تەرەققىياتىغا ئەگىشىپ، ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىمۇ تەرەققىي قىلماقتا، شۇنداقلا يېڭى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىمۇ بارلىققا كەلمەكتە.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسىئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 6-ئاينىڭ 12-كۈنى
