Вакуумдық жабын технологиясы - электроника, оптика, қаптама, безендіру және басқа да салаларда кеңінен қолданылатын вакуумдық ортада субстрат материалдарының бетіне жұқа қабықшалы материалдарды тұндыру технологиясы. Вакуумдық жабын жабдықтарын негізінен келесі түрлерге бөлуге болады:
1. Термиялық булану жабыны: бұл ең дәстүрлі вакуумдық жабын әдісі, булану қайығында жұқа қабықшалы материалды қыздыру арқылы материал буланып, субстрат материалының бетіне тұндырылады.
2. Шашырату жабдығы: нысана материалының бетіне түсу үшін жоғары энергиялы иондарды пайдалану арқылы нысана материалының атомдары шашыратылып, субстрат материалына тұндырылады. Магнетронды шашырату пленканың біркелкі және берік адгезиясын алуға мүмкіндік береді, бұл жаппай өндіріске жарамды.
3. Иондық сәулелерді тұндыру жабдықтары: Иондық сәулелер жұқа қабықшалы материалдарды негізге тұндыру үшін қолданылады. Бұл әдіс өте біркелкі қабықшалар алуға мүмкіндік береді және жоғары дәлдік талаптары бар жағдайларға жарамды, бірақ жабдықтың құны жоғары.
4. Химиялық бу тұндыру (ХБТ) жабдығы: Химиялық реакция арқылы субстрат материалының бетінде жұқа қабықшалар түзеді. Бұл әдіс жоғары сапалы, көп түрлі қабықшаларды дайындауға мүмкіндік береді, бірақ жабдық күрделі және қымбат.
5. Молекулалық сәулелік эпитаксия (MBE) жабдығы: Бұл атом деңгейінде жұқа қабықшалардың өсуін бақылау әдісі және негізінен жартылай өткізгіш және нанотехнологиялық қолданбаларға арналған аса жұқа қабаттар мен көп қабатты құрылымдарды дайындау үшін қолданылады.
6. Плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD) жабдығы: Бұл химиялық реакция арқылы жұқа қабықшалардың тұнуын күшейту үшін плазманы пайдаланатын әдіс, бұл төмен температурада жұқа қабықшалардың тез түзілуіне мүмкіндік береді.
7. Импульсті лазерлік тұндыру (PLD) құрылғылары: Бұлар нысанаға тигізу, нысана бетінен материалды буландыру және оны субстратқа түсіру үшін жоғары энергиялы лазерлік импульстарды пайдаланады және жоғары сапалы, күрделі оксидтік қабықшаларды өсіруге жарамды.
Бұл құрылғылардың әрқайсысының дизайны мен жұмыс істеу ерекшеліктері бар және әртүрлі өнеркәсіптік қолданбалар мен зерттеу салаларына жарамды. Технологияның дамуымен вакуумдық жабын технологиясы да дамып келеді, сондай-ақ жаңа вакуумдық жабын жабдықтары да пайда болуда.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасыөндіруші Гуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 12 маусым