Vakuum örtük texnologiyası, elektronika, optika, qablaşdırma, dekorasiya və digər sahələrdə geniş istifadə olunan vakuum mühitində substrat materiallarının səthinə nazik təbəqə materiallarını yerləşdirən bir texnologiyadır. Vakuum örtük avadanlıqları əsasən aşağıdakı növlərə bölünə bilər:
1. Termal buxarlanma örtük avadanlığı: bu, ən ənənəvi vakuum örtük üsuludur, buxarlanma qayığında nazik təbəqə materialını qızdırmaqla material buxarlanır və substrat materialının səthinə yerləşdirilir.
2. Püskürtmə örtük avadanlığı: hədəf materialın səthinə vurmaq üçün yüksək enerjili ionlardan istifadə etməklə, hədəf material atomları püskürdülür və substrat materialına yerləşdirilir. Maqnetron püskürtmə kütləvi istehsal üçün uyğun olan filmin daha vahid və daha güclü yapışmasını təmin edə bilir.
3. İon şüası çökdürmə avadanlığı: İon şüaları nazik təbəqə materiallarını substrata yerləşdirmək üçün istifadə olunur. Bu üsul çox vahid təbəqələr əldə etməyə imkan verir və yüksək dəqiqlik tələbləri olan hallar üçün uyğundur, lakin avadanlığın dəyəri yüksəkdir.
4. Kimyəvi Buxar Çökdürmə (KÇÇ) Avadanlığı: Kimyəvi reaksiya yolu ilə substrat materialının səthində nazik təbəqələr əmələ gətirir. Bu üsul yüksək keyfiyyətli, çoxnövlü təbəqələr hazırlaya bilər, lakin avadanlıq mürəkkəb və baha başa gəlir.
5. Molekulyar Şüa Epitaksisi (MBE) avadanlığı: Bu, atom səviyyəsində nazik təbəqələrin böyüməsini idarə etmək üçün bir üsuldur və əsasən yarımkeçirici və nanotexnologiya tətbiqləri üçün ultra nazik təbəqələrin və çoxqatlı strukturların hazırlanmasında istifadə olunur.
6. Plazma ilə Gücləndirilmiş Kimyəvi Buxar Çökdürmə (PECVD) avadanlığı: Bu, nazik təbəqələrin çökməsini kimyəvi reaksiya ilə artırmaq üçün plazmadan istifadə edən və aşağı temperaturlarda nazik təbəqələrin sürətli əmələ gəlməsinə imkan verən bir texnikadır.
7. İmpulslu Lazer Çökdürmə (PLD) cihazları: Bunlar hədəfi vurmaq, materialı hədəf səthindən buxarlandırmaq və substrata yerləşdirmək üçün yüksək enerjili lazer impulslarından istifadə edir və yüksək keyfiyyətli, mürəkkəb oksid təbəqələri yetişdirmək üçün uyğundur.
Bu cihazların hər biri dizayn və istismar baxımından özünəməxsus xüsusiyyətlərə malikdir və müxtəlif sənaye tətbiqləri və tədqiqat sahələri üçün uyğundur. Texnologiyanın inkişafı ilə vakuum örtük texnologiyası da inkişaf edir və yeni vakuum örtük avadanlıqları da ortaya çıxır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşınıistehsalçı Guangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 12 iyun 2024