Fasahar shafa fenti ta injin tsotsa fasaha ce da ke saka kayan fim masu siriri a saman kayan da aka yi amfani da su a ƙarƙashin yanayin injin tsotsa, wanda ake amfani da shi sosai a fannin lantarki, na'urorin gani, marufi, kayan ado da sauran fannoni. Ana iya raba kayan shafa fenti zuwa nau'ikan da ke ƙasa:
1. Kayan aikin shafa mai na zafi: wannan ita ce hanyar shafa mai ta hanyar amfani da injin tsotsa, ta hanyar dumama siririn fim ɗin a cikin jirgin ruwan tsotsa, ana fitar da kayan kuma a ajiye su a saman kayan da aka yi amfani da su.
2. Kayan aikin rufewa na sputtering: ta amfani da ions masu ƙarfi don buga saman kayan da aka nufa, ana yayyafa ƙwayoyin halitta na kayan da aka nufa kuma a ajiye su a cikin kayan substrate. Magneton sputtering yana iya samun ƙarin mannewa mai kama da juna da ƙarfi na fim ɗin, wanda ya dace da samar da taro.
3. Kayan aikin adana hasken ion: Ana amfani da hasken ion don saka kayan fim masu siriri a kan abin da aka yi amfani da shi. Wannan hanyar na iya samun fina-finai iri ɗaya kuma ya dace da lokutan da ake buƙatar daidaito sosai, amma farashin kayan yana da yawa.
4. Kayan Aikin Dakatar da Tururin Sinadarai (CVD): Yana samar da siririn fim a saman kayan da aka yi amfani da su ta hanyar sinadaran da aka yi amfani da su. Wannan hanyar za ta iya shirya fina-finai masu inganci, masu nau'ikan iri-iri, amma kayan aikin suna da rikitarwa kuma suna da tsada.
5. Kayan aikin Molecular Beam Epitaxy (MBE): Wannan hanya ce ta sarrafa girman siririn fina-finai a matakin atomic kuma galibi ana amfani da ita don shirya yadudduka masu siriri da tsarin layuka da yawa don aikace-aikacen semiconductor da nanotechnology.
6. Kayan aikin da ke ƙara wa sinadarin Plasma ƙarfi (PECVD): Wannan wata dabara ce da ke amfani da plasma don ƙara wa fim ɗin siriri ƙarfi ta hanyar haɗakar sinadarai, wanda ke ba da damar samar da fina-finai masu siriri cikin sauri a ƙananan yanayin zafi.
7. Na'urorin da ke fitar da sinadarin Laser mai ƙarfi (PLD): Waɗannan suna amfani da na'urorin laser masu ƙarfi don kai hari ga wani abu da aka yi niyya, su ƙafe kayan daga saman da aka yi niyya sannan su saka su a kan wani abu mai kama da na'urar, kuma sun dace da noman fina-finan oxide masu inganci da rikitarwa.
Kowace daga cikin waɗannan na'urori tana da nata halaye a cikin ƙira da aiki kuma ta dace da aikace-aikacen masana'antu daban-daban da fannoni na bincike. Tare da haɓaka fasaha, fasahar rufewa ta injin tana ci gaba, kuma sabbin kayan aikin rufewa ta injin suma suna tasowa.
– An fitar da wannan labarin ne dagainjin shafa injinmasana'anta Guangdong Zhenhua
Lokacin Saƙo: Yuni-12-2024